特許
J-GLOBAL ID：200903048531700900
セラミックヒータ
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-186759
公開番号（公開出願番号）：特開2001-015252
出願日： 1999年06月30日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：
【要約】【課題】セラミックヒータを急速加熱すると、発熱抵抗体近傍に大きな温度傾斜が発生し、この温度差による熱応力で、セラミックヒータにクラックが発生たり、発熱抵抗体4の抵抗が増加するという問題があった。【解決手段】セラミック体中にW、Mo、Re等の高融点金属を主成分とする発熱抵抗体を埋設した円筒もしくは円柱状のセラミックヒータにおいて、急速昇温時の周方向の温度差を100°C以内とする。
請求項（抜粋）：
円筒もしくは円柱状のセラミック体中にW、Mo、Re等の高融点金属を主成分とする発熱抵抗体を埋設したセラミックヒータにおいて、急速昇温時における側面の周方向の温度差が100°C以下であることを特徴とするセラミックヒータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (11件)：
3K092PP20
, 3K092QA01
, 3K092QB02
, 3K092QB21
, 3K092QB45
, 3K092QB62
, 3K092QB74
, 3K092QB76
, 3K092TT30
, 3K092UA06
, 3K092VV31
