特許
J-GLOBAL ID：200903048536572692
イオン注入装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-202883
公開番号（公開出願番号）：特開平10-027568
出願日： 1996年07月11日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：
【要約】【課題】 真空計に依ることなく、注入中のビームラインの真空度悪化を速やかに検出して注入不良の発生を未然に防止する。【解決手段】 走査マグネット6の下流側の直進軌道22上であって、基板12にイオン注入を行うための正規のイオンビーム軌道26の外に、そこに飛来して来る中性粒子24を受ける金属製の受領体28を設けた。この受領体28の前面付近には、引出し電極30を配置しており、この受領体28と引出し電極30との間に、直流電源32によって、受領体28が相対的に負になる電位差が付与される。更に、受領体28に流れる電流IN を計測する電流計測器34と、この電流計測器34で計測した電流IN が基準値Rよりも大きい場合に警報信号Sを出力する比較回路36とを設けた。
請求項（抜粋）：
イオンビームを走査手段によって走査して基板に照射して当該基板にイオン注入を行う構成のイオン注入装置において、前記走査手段の下流側の直進軌道上であって、基板にイオン注入を行うための正規のイオンビーム軌道の外に設けられていて、そこに飛来して来る中性粒子を受ける導電性の受領体と、この受領体とその前面付近との間に前者が相対的に負になる電位差を付与する直流電源と、前記受領体に流れる電流を計測する電流計測器と、この電流計測器で計測した電流が基準値よりも大きい場合に警報信号を出力する比較回路とを備えることを特徴とするイオン注入装置。
IPC (2件)：
H01J 37/317
, H01L 21/265
H01J 37/317 C
, H01L 21/265 D
