特許
J-GLOBAL ID：200903048540677822
角速度センサ
出願人/特許権者：
株式会社村田製作所
株式会社村田製作所 について
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-063486
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258165
出願日： 1999年03月10日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：
【要約】【課題】 検出確度が高く、感度変動の小さな、静電容量型の角速度センサを提供する。【解決手段】 角速度センサ1は、センサ素子10と支持基板2を備える。この支持基板2におけるセンサ素子10の面実装部分の周囲部には、センサ素子10を四角く囲うように4本の貫通した溝6が形成されている。溝6は使用環境の変化や角速度センサ1の外部から印加される衝撃,振動などの力により、支持基板2に生じるたわみやねじれなどの変形応力を、センサ素子10の実装部に伝搬するのを防止する防止手段として機能するものである。つまり、支持基板2が変形した場合、溝6が貫通していることにより、溝6の存在する部分で屈曲などの変形がほぼ完全に吸収されるため、センサ素子10の実装部まで変形応力が伝搬しない構造となる。
請求項（抜粋）：
平板状のセンサ素子と、前記センサ素子を支持する支持基板と、を備え、前記センサ素子に加わった角速度に応じて、前記センサ素子内における静電容量の変化を検知することによって前記角速度を検出する角速度センサであって、前記センサ素子は、前記支持基板に面実装され、前記支持基板における前記センサ素子が面実装された周囲部には、前記支持基板に加わった変形応力を前記センサ素子の面実装部分に伝搬するのを防止するための防止手段を備えたことを特徴とする、角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
引用特許：
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