特許

J-GLOBAL ID：200903048575225932

被照射物保持機構

発明者： 高 橋 誠
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-294491
公開番号（公開出願番号）：特開2005-064329
出願日： 2003年08月18日
公開日（公表日）： 2005年03月10日
要約：

【課題】 板状の被照射体の平面度を向上させる。【解決手段】 ホルダー本体1の凹部2に設けられたプレート70上の三箇所にピンホルダーを取付け、ピン110,120,130がプレート70に接触しないよう、それぞれ、各ピンホルダーで保持する。プレート70を下げて、ホルダー本体1の山部3a,3bに取り付けられた上面規制板4,5,6と各対向位置にあるピンホルダー110,120,130間にガラス乾板15を挿入し、プレート70を上げて、該各上面規制板とピンで狭持する。各ピンホルダーには位置調整用ネジ24A,24Bが螺合されており、各ピンをホルダー本体凹部2の底面に平行に移動出来るように成してある。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

側部一方向から板状の被照射物の出し入れが可能な凹部が設けられたホルダー本体、該凹部底面に平行な状態を保って該底面に垂直な方向に移動可能に該底面に設けられたプレート、被照射物を下面から押し上げるために、該プレート上の三箇所に設けられた押上体、及び、前記各押上体とで被照射物を上下両面から挟み込んで支持するために前記ホルダー本体に取り付けられた3個の上面規制板を具備し、前記プレートを底面に近づける様に移動させて前記各押上体と各対向する上面規制板の間に被照射物を出し入れ出来る様にし、前記プレートを底面から遠ざける方向に移動させて前記各押上体と各対向する上面規制板の間に被照射物を狭持させる様に成した被照射物保持機構において、前記押上体が底面に平行に移動出来るように前記プレートに保持される様に成した被照射物保持機構。

IPC (4件)：

H01L21/68 ,  G03F1/14 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

FI (4件)：

H01L21/68 N ,  G03F1/14 M ,  G03F7/20 504 ,  H01L21/30 541L

Fターム (16件)：

2H095BE12 ,  2H097CA16 ,  2H097DB07 ,  2H097DB11 ,  2H097LA20 ,  5F031CA05 ,  5F031HA08 ,  5F031HA09 ,  5F031HA24 ,  5F031HA28 ,  5F031HA30 ,  5F031MA27 ,  5F031MA33 ,  5F031PA14 ,  5F056EA14 ,  5F056EA15

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 材料カセットの位置決め機構
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-102872   出願人：日本電子株式会社