特許
J-GLOBAL ID：200903048576729136
スリット光照射光学系
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
加藤 卓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-104919
公開番号（公開出願番号）：特開平8-304732
出願日： 1995年04月28日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：
【要約】【目的】 簡単な構成で均一なレーザスリット光を生成でき、広い物質表面を均一なスリット光で照射できるスリット光照射光学系を提供する。【構成】 シリンドリカルインテグレータ2は、その表面に短冊状のシリンドリカルレンズ面2aを有し入射するレーザ光1を分割集光させたのち互いに重ね合わせる。その後レーザ光は、シリンドリカルインテグレータ母線2b方向に直交する母線5bを有するシリンドリカルレンズ5に入射される。各母線2b、5bは直交しているので、各レーザ光は、シリンドリカルインテグレータの母線方向には、シリンドリカルレンズにより一点F5に絞られるように集光され、また母線5b方向には互いに同一面に重ね合わされて集光される。従って、長手方向並びに幅方向に均一なパワー分布P1、P2を有するスリット光が形成される。
請求項（抜粋）：
短冊状のシリンドリカルレンズ面を有し、入射するレーザ光を各シリンドリカルレンズ面で分割集光させたあと重ね合わせるシリンドリカルインテグレータと、前記シリンドリカルインテグレータの母線方向に直交する母線を有し、シリンドリカルインテグレータからのレーザ光を集光してシリンドリカルインテグレータの母線方向に直交する方向にスリット光を生成するシリンドリカル光学素子と、からなることを特徴とするスリット光照射光学系。
引用特許：
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