特許
J-GLOBAL ID：200903048590197279
プラズマクリーニング装置及びプラズマクリーニング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-307061
公開番号（公開出願番号）：特開平9-148291
出願日： 1995年11月27日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】 ボンディングパッドを効果的に清浄化できるプラズマクリーニング装置を提供することを目的とする。【解決手段】 チャンバー1と、チャンバー1内に反応ガスを供給する反応ガス供給部10と、チャンバー1外へ排気を行う排気部11と、チャンバー1内に設けられ、電気的に接地される第1電極2と、第1電極2と平行になるようにチャンバー1内に設けられ、かつ基板が載置されるとともに、高周波電流が印加される第2電極3とを有し、第2電極3を冷却する冷却手段13を備える。
請求項（抜粋）：
チャンバーと、前記チャンバー内に反応ガスを供給する反応ガス供給部と、前記チャンバー外へ排気を行う排気部と、前記チャンバー内に設けられ、電気的に接地される第1電極と、前記第1電極と平行になるように前記チャンバー内に設けられ、かつ基板が載置されるとともに、高周波電流が印加される第2電極とを有し、前記第2電極を冷却する冷却手段を備えることを特徴とするプラズマクリーニング装置。
IPC (5件)：
H01L 21/304 341
, C23F 4/00
, H01L 21/3065
, H01L 21/60 301
, H05K 3/26
H01L 21/304 341 D
, C23F 4/00 A
, H01L 21/60 301 P
, H05K 3/26 A
, H01L 21/302 C
