真空処理装置内の圧力制御方法及び装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外9名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-541575
公開番号（公開出願番号）：特表2002-510083
出願日： 1999年03月30日
公開日（公表日）： 2002年04月02日
要約：

【要約】ウェーハ処理設備の反応チャンバ(106)の圧力を制御する方法及び装置が開示される。開示される装置及び方法は、排気システム内にガスを挿入するためのバラストポート(150b)を使用し、それによって反応チャンバ内の圧力を制御する。開示される装置及び方法は、反応チャンバとターボポンプとの間に配置されている被制御ゲート弁(124)の所望位置を推定するために、推定曲線をも使用する。開示される装置及び方法は、絞り弁を予備位置決めし、続いて測定圧力と設定点圧力との間の差に基づき、比例及び積分制御を使用して絞り弁を再位置決めすることによって設定点圧力を達成する。但し積分制御は、予め指定された時間の後に動作可能にされる。

請求項（抜粋）：

排気された処理チャンバ内の圧力を制御する方法であって、上記処理チャンバの所望の圧力レベルを反映する所望の圧力値を電子メモリから検索するステップと、上記処理チャンバを通る所望のガス流量を表す所望のガス流量値を電子メモリから検索するステップと、上記処理チャンバ内の圧力を制御するために使用されている絞り弁を初期位置に位置決めするステップと、上記処理チャンバ内の圧力を測定するステップと、上記所望の圧力と上記測定された圧力との間の差に等しい圧力誤差を計算するステップと、上記位置決めステップに続いて、上記所望の圧力と上記測定された圧力との間の差に基づき、比例及び積分制御を使用して、少なくとも1回上記絞り弁を再位置決めするステップと、を含み、上記積分制御は、所定の時間の間遅延されることを特徴とする方法。

Fターム (16件)：

5H316AA20 , 5H316BB01 , 5H316CC08 , 5H316DD04 , 5H316DD06 , 5H316DD07 , 5H316EE02 , 5H316FF01 , 5H316FF22 , 5H316FF37 , 5H316GG03 , 5H316GG12 , 5H316HH04 , 5H316HH08 , 5H316HH10 , 5H316HH12

引用特許：

出願人引用 (2件)

急速圧力制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-350944 出願人：国際電気株式会社
特開平1-111213

審査官引用 (2件)

急速圧力制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-350944 出願人：国際電気株式会社
特開平1-111213

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