高融点金属粉末材料の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-386061
公開番号（公開出願番号）：特開2002-180112
出願日： 2000年12月19日
公開日（公表日）： 2002年06月26日
要約：

【要約】【課題】従来の高融点金属材料は、特に低融点金属元素、アルカリ金属、ハロゲン元素、Feなどの残留が高く、例えば情報産業用薄膜に用いる材料としては更なる高純度化精製が必要であった。【解決手段】高融点金属の酸化物、あるいは金属化合物の粉体を原料として、水素を導入したRF熱プラズマ高温領域に供給し、その高温領域において液滴精錬することにより、高純度かつ球状で、ハンドリング性が良好な粉末を製造できた。

請求項（抜粋）：

平均粒径が10〜320μmを有する高融点金属の酸化物もしくは高融点金属の化合物の原料粉末を、水素を導入したRF熱プラズマ中に通し、処理後の粉末の平均粒径を3〜200μmに制御し、かつ高純度化、球状化を行うことを特徴とする高融点金属粉末材料の製造方法。

Fターム (12件)：

4K017AA03 , 4K017BA04 , 4K017BA07 , 4K017BA10 , 4K017CA01 , 4K017DA08 , 4K017DA09 , 4K017EF01 , 4K017EG04 , 4K017EH18 , 4K017EK05 , 4K017FB06

引用特許：

審査官引用 (5件)

球状銀微粒子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-131734 出願人：月島機械株式会社, 富士電波工機株式会社
特開昭63-243212
特開昭63-243212

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