特許
J-GLOBAL ID:200903048650922903

高親水性薄膜及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-028629
公開番号(公開出願番号):特開2003-226978
出願日: 2002年02月05日
公開日(公表日): 2003年08月15日
要約:
【要約】【課題】 高親水性薄膜、その製造方法及び該薄膜を表面に形成してなる高親水性部材を提供する。【解決手段】 金属、セラミックス、ガラス、プラスチックの内から選択された1種類以上からなる基材に、有機シラン化合物、有機金属化合物のセラミックス前駆体の内から選択された1種類以上を付着させて膜を形成し、該膜を光酸化及び/又は3次元架橋させることにより有機成分を除去してセラミックス薄膜に化学変化させたことを特徴とする高親水性薄膜、その製造方法、及び表面に上記高親水性薄膜を形成してなる高親水性部材。
請求項(抜粋):
基材に、有機シラン化合物、有機金属化合物のセラミックス前駆体の内から選択された1種類以上を付着させて膜を形成し、該膜を光酸化及び/又は3次元架橋させることにより有機成分を除去してセラミックス薄膜に化学変化させたことを特徴とする高親水性薄膜。
IPC (2件):
C23C 16/48 ,  B32B 9/00
FI (2件):
C23C 16/48 ,  B32B 9/00 A
Fターム (34件):
4F100AA20 ,  4F100AB01A ,  4F100AD00A ,  4F100AD00B ,  4F100AG00A ,  4F100AK01A ,  4F100AK12 ,  4F100AK25 ,  4F100BA02 ,  4F100BA25B ,  4F100EJ052 ,  4F100EJ122 ,  4F100EJ532 ,  4F100EJ542 ,  4F100JB05 ,  4F100JD07B ,  4F100JD08B ,  4F100JD09B ,  4F100JL07 ,  4F100JM02B ,  4F100YY00B ,  4K030AA06 ,  4K030AA09 ,  4K030AA11 ,  4K030BA42 ,  4K030BA44 ,  4K030CA02 ,  4K030CA05 ,  4K030CA06 ,  4K030CA07 ,  4K030FA08 ,  4K030FA12 ,  4K030JA01 ,  4K030LA01
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 光励起CVD方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-353337   出願人:バブコック日立株式会社
審査官引用 (1件)
  • 光励起CVD方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-353337   出願人:バブコック日立株式会社
引用文献:
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