特許

J-GLOBAL ID：200903048705994712

ダイヤモンド膜の製造方法

発明者： 御宿 和人 ,  平木 昭夫 ,  八田 章光
出願人/特許権者： グンゼ株式会社 ,  平木 昭夫 ,  八田 章光
代理人 (1件)： 三枝 英二 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-078094
公開番号（公開出願番号）：特開平8-245292
出願日： 1995年03月08日
公開日（公表日）： 1996年09月24日
要約：

【要約】【目的】水素ガスを含む炭素源ガスの気相反応によるダイヤモンド膜の製造に関し、該水素ガスを分離し再利用に供する。【構成】真空反応容器中に水素ガスを含む炭素源ガスを送り、気相反応によってダイヤモンド膜を製造する過程で排出される水素ガスを含む廃ガスを高温下でパラジウム又はその合金からなる膜に接触せしめ、該膜を透過した水素ガスをダイヤモンド膜の製造に再利用することを特徴とするダイヤモンド膜の製造方法。

請求項（抜粋）：

真空反応容器中に水素ガスを含む炭素源ガスを送り、気相反応によってダイヤモンド膜を製造する過程で排出される水素ガスを含む廃ガスを高温下でパラジウム又はその合金からなる膜に接触せしめ、該膜を透過した水素ガスをダイヤモンド膜の製造に再利用することを特徴とするダイヤモンド膜の製造方法。

IPC (4件)：

C30B 25/14 ,  B01D 53/22 ,  B01D 71/02 500 ,  C30B 29/04

FI (5件)：

C30B 25/14 ,  B01D 53/22 ,  B01D 71/02 500 ,  C30B 29/04 R ,  C30B 29/04 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ダイヤモンドの合成方法および合成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-023959   出願人：出光石油化学株式会社
• ダイヤモンド合成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-053274   出願人：新日本無線株式会社
• 水素分離膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-334547   出願人：三菱化工機株式会社
• 化学的気相成長装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-107755   出願人：新日本製鐵株式会社