特許
J-GLOBAL ID：200903048725830678
透過形走査電子線装置及び試料密度測定方法
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-102153
公開番号（公開出願番号）：特開平6-310076
出願日： 1993年04月28日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：
【要約】【目的】従来技術では達しえなかった、微視的な領域での物質の密度、特に高分子材料での密度を、透過形走査電子線装置を用いて評価できる手段と方法を提供することにある。【構成】STEMによる微小領域の観察だけでなく、試料への入射電子強度を検出する手段と、前記試料を透過した電子強度を検出する手段を設け、透過電子強度と入射電子強度の比、すなわち、その試料の電子線透過率と、走査領域での試料厚さtx物質の密度ρとの関係から、走査領域中の物質の密度を評価できるよう構成したもの。
請求項（抜粋）：
電子線を試料上で走査する手段を有し、前記試料から検出された信号を表示手段に導入して走査像を得る装置において、試料への入射電子強度を検出する手段と、試料を透過した電子信号を検出して透過走査像を得る手段とを有することを特徴とする透過形走査電子線装置。
IPC (4件)：
H01J 37/28
, H01J 37/05
, H01J 37/244
, H01J 37/26
