走査型電子顕微鏡

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-087469
公開番号（公開出願番号）：特開2005-191017
出願日： 2005年03月25日
公開日（公表日）： 2005年07月14日
要約：

【課題】精度劣化、分解能低下の原因となる帯電現象を感知して知らせる機能を有し、帯電対策を簡便化し、帯電し易い試料に対しても短時間で熟練を要さずに、高精度、高分解能の測定を可能とする。【解決手段】試料の観察領域の表面電位観測手段もしくはそれによる画像の変化のモニタ手段により帯電現象を感知し、その結果の表示手段を有し、前記表面電位の観測結果、画像のモニタ結果またはそれら結果の分類項目をもとに、帯電対策を行う手段を起動する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料表面の帯電現象を感知する手段と、さらにその結果の表示手段を観察画像上もしくはその近傍に有することを特徴とする走査型電子顕微鏡

IPC (4件)：

H01J37/28 , H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/244

FI (4件)：

H01J37/28 B , H01J37/20 H , H01J37/22 502F , H01J37/244

Fターム (8件)：

5C001BB07 , 5C001CC04 , 5C033NN01 , 5C033NN02 , 5C033UU04 , 5C033UU05 , 5C033UU06 , 5C033UU10

引用特許：

出願人引用 (1件)

走査形電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-275837 出願人：株式会社日立製作所

審査官引用 (5件)

特開平4-337235
走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-123096 出願人：株式会社日立製作所
走査型電子顕微鏡による計測方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-150128 出願人：株式会社日立製作所

全件表示

前のページに戻る