特許
J-GLOBAL ID：200903048734371368

被検物温度制御装置

発明者：
伊藤 達也

伊藤 達也 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-165296
公開番号（公開出願番号）：特開2000-356584
出願日： 1999年06月11日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：
【要約】【課題】本発明は被検物を干渉計を用いて3次元的に測定する際に、当該被検物を一定温度に温度制御する被検物温度制御装置を提供する。【解決手段】被検物温度制御装置100は、同軸円筒形状のセル104と本体ケース102が、その間に循環液の入れられる液室106a〜106dを画成する状態で一体的に形成され、本体ケース102の外側に断熱材103が充填される状態で外壁ケース101が配設されている。セル104には、被検物112に照射される光を導入・出射する一対のセル窓109が相互に平行に形成されている。被検物温度制御装置100は、測定時、セル104内に、被検物112が保持され被検物112とその屈折率がほぼ同等の試液が入れられ、液室106a〜106dに注入口107から循環液温度制御装置で温度調整された循環液を注入して、液室106a〜106dを循環させて排出口107から再度循環液温度制御装置に戻して、セル104及びセル104内の試液の温度調整を行う。
請求項（抜粋）：
内部に被検物が保持され当該被検物とその屈折率がほぼ同等の試液が入れられて当該保持された被検物に照射される光の入射窓と出射窓が相互に平行に形成されたセルと、前記セルの外側に当該セルとの間に所定の循環液の入れられる液室を画成する状態で前記セルと一体的に形成されるとともに、当該液室への前記循環液の注入口と排出口の形成された外容器と、前記セルの入射窓と前記外容器外を連通して前記光を前記外容器外から前記セルに導入するとともに、前記セルの出射窓と前記外容器外を連通して前記セルから出射される前記光を前記外容器外に出射させる光導管と、前記セル内の被検物を前記入射される光の光軸と直交する軸周りに回転可能に保持する保持手段と、前記保持手段を介して前記被検物を前記軸回りに回転させる回転駆動手段と、前記外容器の前記注入口と前記排出口に接続され前記液室との間で前記循環液を循環させるとともに、当該循環液を所定温度に温度調整する液体温度制御手段と、を備えたことを特徴とする被検物温度制御装置。
IPC (3件)：
G01N 21/01 ,  G01N 21/03 ,  G01N 21/45
FI (3件)：
G01N 21/01 C ,  G01N 21/03 Z ,  G01N 21/45 A
Fターム (17件)：
2G057AA01 ,  2G057AA05 ,  2G057AB04 ,  2G057AC05 ,  2G057BA10 ,  2G057DB01 ,  2G057EA06 ,  2G057HA03 ,  2G059AA02 ,  2G059BB15 ,  2G059DD13 ,  2G059DD16 ,  2G059EE09 ,  2G059GG01 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (6件)
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