特許
J-GLOBAL ID:200903048736337574
マイクロケミカルデバイスの製造法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高橋 勝利
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-056438
公開番号(公開出願番号):特開2000-246805
出願日: 1999年03月04日
公開日(公表日): 2000年09月12日
要約:
【要約】【課題】 二つ以上の部材の間に微小な空間を閉塞されることなく形成されたマイクロケミカルデバイスを製造法を提供すること。【解決手段】 エネルギー線透過性の部材(A)と他の部材(B)との間に、エネルギー線硬化性化合物を含有する液状の組成物(C)を厚さ5〜1000μmの範囲で狭持した状態で、空間となるべき部分を除いてエネルギー線を照射して組成物(C)を硬化させた後、未照射部分の未硬化の組成物(C)を除去することにより、部材間に外部と連絡した空間を形成するマイクロケミカルデバイスの製造法。
請求項(抜粋):
エネルギー線透過性の部材(A)と他の部材(B)との間に、エネルギー線硬化性化合物を含有する液状の組成物(C)を厚さ5〜1000μmの範囲で狭持した状態で、空間となるべき部分を除いてエネルギー線を照射して組成物(C)を硬化させた後、未照射部分の未硬化の組成物(C)を除去することにより、部材間に外部と連絡した空間を形成することを特徴とするマイクロケミカルデバイスの製造法。
IPC (10件):
B29C 67/00
, B01J 19/24
, B29C 35/08
, B32B 3/26
, C08F 2/46
, G01N 1/10
, G01N 1/12
, G01N 27/447
, G01N 30/02
, B29K105:24
FI (10件):
B29C 67/00
, B01J 19/24 Z
, B29C 35/08
, B32B 3/26 B
, C08F 2/46
, G01N 1/10 G
, G01N 1/12 B
, G01N 30/02 A
, G01N 27/26 315 A
, G01N 27/26 325 E
Fターム (106件):
4F100AK01B
, 4F100AK25B
, 4F100AK49B
, 4F100AR00A
, 4F100AT00C
, 4F100BA03
, 4F100BA07
, 4F100BA10A
, 4F100BA10C
, 4F100DB20
, 4F100DD27
, 4F100EA041
, 4F100EH112
, 4F100EH312
, 4F100EJ082
, 4F100EJ303
, 4F100EJ522
, 4F100GB51
, 4F100GB90
, 4F100JB14B
, 4F100JD06A
, 4F203AA44
, 4F203AD08
, 4F203AG03
, 4F203AH33
, 4F203AH81
, 4F203DA01
, 4F203DA12
, 4F203DB01
, 4F203DB11
, 4F203DC07
, 4F213AA44
, 4F213AD08
, 4F213AG03
, 4F213AH33
, 4F213AH81
, 4F213WA02
, 4F213WA53
, 4F213WA62
, 4F213WA86
, 4F213WA87
, 4F213WB01
, 4F213WB13
, 4G075AA23
, 4G075AA32
, 4G075AA62
, 4G075BA04
, 4G075CA32
, 4G075CA33
, 4G075CA34
, 4G075CA38
, 4G075CA39
, 4G075CA51
, 4G075CA63
, 4G075EB31
, 4G075EE12
, 4G075EE23
, 4G075EE36
, 4G075FA01
, 4G075FA05
, 4G075FA11
, 4G075FB12
, 4J011QA03
, 4J011QA06
, 4J011QA07
, 4J011QA13
, 4J011QA15
, 4J011QA18
, 4J011QA23
, 4J011QA24
, 4J011QA32
, 4J011QA34
, 4J011QA38
, 4J011QA39
, 4J011QA40
, 4J011QA42
, 4J011QA43
, 4J011QA46
, 4J011QB04
, 4J011QB16
, 4J011QB19
, 4J011QB24
, 4J011RA10
, 4J011SA02
, 4J011SA04
, 4J011SA16
, 4J011SA17
, 4J011SA19
, 4J011SA20
, 4J011SA22
, 4J011SA25
, 4J011SA28
, 4J011SA32
, 4J011SA34
, 4J011SA54
, 4J011SA58
, 4J011SA64
, 4J011SA83
, 4J011UA01
, 4J011UA02
, 4J011UA03
, 4J011UA04
, 4J011UA05
, 4J011UA06
, 4J011VA04
, 4J011WA10
引用特許: