マイクロケミカルデバイスの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋勝利
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-056437
公開番号（公開出願番号）：特開2000-246092
出願日： 1999年03月04日
公開日（公表日）： 2000年09月12日
要約：

【要約】【課題】表面に凹部を有する部材と他の部材を接着一体化させることにより、流路などとなる空間が形成されたマイクロケミカルデバイスを製造するに当たり、表面に凹部を有する部材と他の部材とをの間を完全に密着させた状態で接着し、しかも接着剤が微小な空間を閉塞することなく接着一体化させる方法を提供すること。【解決手段】部材(A)の凹部が形成された面と部材(B)をエネルギー線硬化性化合物を含有する組成物(C)を介して接触させ、部材(A)に形成された凹部を除く部分にエネルギー線を照射して組成物(C)を硬化させた後、部材(A)の凹部と部材(B)との間に形成された空間中に存在する未硬化の組成物(C)を除去することからなるマイクロケミカルデバイスの製造方法。

請求項（抜粋）：

表面に深さ1〜3000μmの凹部を有する部材(A)と、他の部材(B)とを接着することにより部材(A)の凹部と部材(B)との間に形成された空間を有するマイクロケミカルデバイスの製造方法であって、部材(A)の凹部が形成された面と部材(B)をエネルギー線硬化性化合物を含有する組成物(C)を介して接触させ、部材(A)に形成された凹部を除く部分にエネルギー線を照射して組成物(C)を硬化させた後、部材(A)の凹部と部材(B)との間に形成された空間中に存在する未硬化の組成物(C)を除去することを特徴とするマイクロケミカルデバイスの製造方法。

IPC (7件)：

B01J 19/12 , B01J 19/00 321 , C08F 2/46 , G01N 27/447 , G01N 30/60 , C12M 1/00 , C12N 15/09

FI (8件)：

B01J 19/12 E , B01J 19/00 321 , C08F 2/46 , G01N 30/60 D , C12M 1/00 A , G01N 27/26 315 K , G01N 27/26 331 E , C12N 15/00 A

Fターム (45件)：

4B024AA11 , 4B024AA19 , 4B024AA20 , 4B024CA01 , 4B024HA11 , 4B029AA23 , 4B029BB20 , 4G075AA39 , 4G075CA32 , 4G075CA33 , 4G075EE03 , 4G075EE12 , 4G075FA05 , 4G075FB02 , 4G075FB04 , 4G075FB06 , 4G075FB11 , 4G075FB12 , 4G075FC13 , 4J011QA08 , 4J011QA12 , 4J011QA13 , 4J011QA15 , 4J011QA17 , 4J011QA19 , 4J011QA22 , 4J011QA23 , 4J011QA39 , 4J011QA45 , 4J011QB04 , 4J011QB15 , 4J011QB16 , 4J011QB20 , 4J011QB24 , 4J011SA01 , 4J011SA21 , 4J011SA31 , 4J011SA51 , 4J011SA64 , 4J011UA01 , 4J011UA03 , 4J011UA04 , 4J011UA06 , 4J011VA05 , 4J011WA06

引用特許：

審査官引用 (5件)

光学部品接着方法および光ピックアップ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-213264 出願人：株式会社リコー
微細路の成形方法及び微細路成形材
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-291043 出願人：株式会社トキメック
コンパクト細胞培養ディスク
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-079997 出願人：ミクロクローニングシーシーシーデーエイビー

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