特許
J-GLOBAL ID：200903048758617600
ターゲット交換時期判定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-148108
公開番号（公開出願番号）：特開平10-330925
出願日： 1997年06月05日
公開日（公表日）： 1998年12月15日
要約：
【要約】【課題】 同一ターゲットを電力当たりスパッタレートの異なる複数の条件でスパッタする場合にも、簡便で適正なターゲット交換時期判定方法の提供。【解決手段】 スパッタによるターゲットの減り量と積算電力量の関係が1対1になるように、従来のターゲット交換時期の積算電力値を以下の式により変換し、変換された積算電力値を閾値としてターゲット交換時期の判定を行う。本発明のターゲット交換判定用積算電力値=従来の積算電力値×(そのスパッタ条件の電力当たりスパッタレート/標準的スパッタ条件の電力当たりスパッタレート)=従来の積算電力値×そのスパッタ条件の標準的条件に対する電力当たりレート比
請求項（抜粋）：
スパッタリング装置のターゲットへの供給電力と電力供給時間との積である積算電力値からターゲットの交換時期を判定する方法において、同一ターゲットをスパッタレート/スパッタ電力比の異なる複数の条件によりスパッタする際に、個々の条件に対応するスパッタレート/スパッタ電力比を積算電力値の算出計算に導入するステップを有することを特徴とするターゲット交換時期判定方法。
IPC (3件)：
C23C 14/34
, C23C 14/54
, H01L 21/203
C23C 14/34 A
, C23C 14/54 Z
, H01L 21/203 S
