特許

J-GLOBAL ID：200903048771487929

異物マップ表示装置および方法

発明者： 阿部 茂
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 飯塚 義仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-101879
公開番号（公開出願番号）：特開2002-296196
出願日： 2001年03月30日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
要約：

【要約】【課題】 異物検査済みのワークピースにおける異物のレビューを効率的に行えるようにする。【解決手段】 被検査物であるワークピースの表面における異物の存在状況を示す異物マップを格納した格納部から、所望の異物マップが、読み出され、目視可能に表示される。このような異物マップの表示に加えて、表示された異物マップ上の異物のうち、少なくとも、オペレータによってレビューの対象として指定された各レビュー済みの異物毎に、所定のレビュー履歴表示が付加される。

請求項（抜粋）：

被検査物であるワークピースの表面における異物の存在状況を示す異物マップを格納した格納部と、所望の異物マップを前記格納部から読み出して目視可能に表示するための異物表示部と、前記異物表示部によって表示された前記異物マップ上の異物のうち、少なくとも、オペレータによってレビューの対象として指定された各レビュー済みの異物毎に、所定のレビュー履歴表示を付加するレビュー履歴表示部とを具備した異物マップ表示装置。

IPC (2件)：

G01N 21/956 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01N 21/956 A ,  H01L 21/66 A ,  H01L 21/66 J

Fターム (16件)：

2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051BA10 ,  2G051CA03 ,  2G051CC07 ,  2G051DA07 ,  2G051EC01 ,  2G051EC02 ,  2G051FA01 ,  4M106AA01 ,  4M106CA42 ,  4M106CA43 ,  4M106DA15 ,  4M106DB05 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ23

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 異物検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-026850   出願人：株式会社アドバンテスト