特許
J-GLOBAL ID：200903048895620970
イオンビーム内の中性粒子を検出する装置及び方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萼 経夫 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-194098
公開番号（公開出願番号）：特開平11-072570
出願日： 1998年07月09日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：
【要約】【課題】ビームラインに沿って伝播する間に中和されたイオンビームの割合をより直接的に測定する中性粒子検出器を提供すること。【解決手段】負電位にあるディフレクタプレート(78)と、このプレート(78)よりも高い電位にあって、イオンビーム内の中性粒子が前記プレート(78)に衝突することによって前記プレート(78)から放出される二次電子を収集する第1集電極(82)と、前記プレート(78)よりも高い電位にあって、イオンビーム内の正荷電イオンが前記プレート(78)に衝突することによって前記プレート(78)から放出される二次電子を収集する第2集電極(84)を備えて、イオンビーム(28)の中性粒子含量を検出する検出器(52)を構成する。前記プレート(78)と集電極(82、84) は、イオンビームが通過できる距離を置いて離隔配置される。中性粒子検出器(52)は、イオンビームが伝播する残留背景ガスの組成または圧力に関係なく、イオンビームの中性粒子の割合を決定する。
請求項（抜粋）：
主に中性粒子と正荷電イオンからなるイオンビーム(28)の中性粒子含量を検出するための、イオン注入機(10)用の中性粒子検出器(52)であって、負電位にあるディフレクタプレート(78)と、該ディフレクタプレート(78)よりも高い電位にあって、イオンビーム内の中性粒子が前記ディフレクタプレート(78)に衝突することによって前記ディフレクタプレート(78)から放出される二次電子を収集する第1集電極(82)と、前記ディフレクタプレート(78)よりも高い電位にあって、イオンビーム内の正荷電イオンが前記ディフレクタプレート(78)に衝突することによって前記ディフレクタプレート(78)から放出される二次電子を収集する第2集電極(84)を備えており、前記ディフレクタプレート(78)と前記集電極(82、84) は、イオンビームが通過できる距離を置いて離隔配置されていることを特徴とする中性粒子検出器。
IPC (3件)：
G01T 1/29
, H01J 47/00
, H01J 37/317
G01T 1/29 Z
, H01J 47/00
, H01J 37/317 C
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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