光学測定機

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-222006
公開番号（公開出願番号）：特開平10-062141
出願日： 1996年08月23日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】【課題】線状光源の場所による照明光量の違いの測定値への影響を除去し、安定した測定結果を得る光学測定機を提供すること。【解決手段】ステージの載物面に垂直な光軸を有し、前記光軸に垂直な面内で、互いに直角な2方向の少なくとも1方向に移動自在な測定ヘッドと、前記測定ヘッドが捉えた光を光電変換する光電変換手段と、前記載物面の前記測定ヘッドと反対側に前記測定ヘッドの移動方向に延在する透過照明装置と、前記測定ヘッドの移動を制御すると共に、前記測定ヘッドの座標値を求める装置コントローラと、前記光電変換手段からの信号に基づいて前記被検物の端面を検出する端面検出手段と、前記透過照明装置からの光量を制御する照明装置コントローラと、前記装置コントローラ、端面検出手段及び照明装置コントローラを制御する主制御装置とを有する光学測定機において、前記主制御装置は、前記光電変換手段が検出した受光量に基づく情報を前記座標値に関連付けて記憶すると共に、前記記憶した情報に基づいて前記照明装置コントローラを制御して測定を行う。

請求項（抜粋）：

被検物を載置するステージの載物面に垂直な光軸を有し、前記光軸に垂直な面内で前記ステージに対して、互いに直角な2方向の少なくとも一方向に相対移動自在な測定ヘッドと、前記測定ヘッドに備えられ、前記測定ヘッドが捉えた光を光電変換する光電変換手段と、前記載物面に対して前記測定ヘッドと反対側に前記測定ヘッドの相対移動方向に延在して設置された透過照明装置と、前記測定ヘッドの相対移動を制御すると共に、前記測定ヘッドの相対位置を表す座標値を求める装置コントローラと、前記光電変換手段からの信号に基づいて前記被検物の端面を検出する端面検出手段と、前記透過照明装置からの光量を制御する照明装置コントローラと、前記装置コントローラ、端面検出手段及び照明装置コントローラを制御する主制御装置とを有する光学測定機において、前記主制御装置は、前記光電変換手段が検出した受光量に基づく情報を前記座標値に関連付けて記憶すると共に、前記記憶した情報に基づいて前記照明装置コントローラを制御して測定を行うことを特徴とする光学測定機。

IPC (3件)：

G01B 11/24 , G01N 21/84 , G06T 1/00

FI (3件)：

G01B 11/24 K , G01N 21/84 E , G06F 15/62 380

引用特許：

審査官引用 (2件)

端面位置検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-068110 出願人：株式会社ニコン
特開昭53-081181

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