特許
J-GLOBAL ID:200903048914516011
磁気抵抗効果素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴江 武彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-296063
公開番号(公開出願番号):特開平6-325934
出願日: 1993年11月01日
公開日(公表日): 1994年11月25日
要約:
【要約】【目的】本発明は、軟磁気特性が良好なスピンバルブ構造の膜または人工格子膜を有し、高感度の磁気ヘッドに適用が可能である磁気抵抗効果素子を提供することを目的とする。【構成】基板上にCo,Fe,およびNiからなる群より選ばれた少なくとも2種の元素を主成分とする強磁性膜、非磁性膜、および前記強磁性膜を順次積層してなる積層膜を具備し、2つの前記強磁性膜が非結合であり、前記強磁性膜の最緻密面が膜面垂直方向に配向していることを特徴としている。また、本発明は、基板上に形成されており前記強磁性膜と非結合である高抵抗磁性膜と、前記高抵抗磁性膜上に形成されており5層以下の積層膜からなる強磁性膜、非磁性膜、および前記強磁性膜が順次積層されてなる積層膜とを具備することを特徴としている。
請求項(抜粋):
基板上に、少なくとも強磁性膜、非磁性膜、および強磁性膜が順次積層されてなる積層膜を具備した磁気抵抗効果素子であって、2つの前記強磁性膜が非結合であり、少なくとも一方の強磁性膜はCo,Fe,およびNiからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素を主成分とし、かつ、その最密面が膜面垂直方向に配向していることを特徴とする磁気抵抗効果素子。
IPC (5件):
H01F 10/12
, G11B 5/02
, G11B 5/39
, H01F 10/30
, H01L 43/08
引用特許:
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