特許
J-GLOBAL ID：200903048930127033
ステージ制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-232261
公開番号（公開出願番号）：特開平7-066270
出願日： 1993年08月26日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：
【要約】【目的】 精度の高い外乱オブザーバを実現する。【構成】 除振手段が設けられた除振台と、この除振台上に搭載され、かつ自身は微小位置決め用の微動ステージを搭載して、与えられた目標位置へ位置決めされる大ストローク移動用のXYステージと、このXYステージを駆動させるリニア直流モータと、前記XYステージの位置を検出し前記目標位置との偏差信号に変換する位置検出変換手段8と、この偏差信号に基づき、適当な補償が加えられた指令電圧を前記リニア直流モータに出力する手段9と、前記リニア直流モータのコイルに生じる逆起電力を検出する手段16と、前記指令電圧と前記逆起電力とに基づいて外乱量を検出する外乱オブザーバ手段15と、この外乱量を打ち消すように前記指令電圧に対してフィードバックする手段とを具備する。
請求項（抜粋）：
除振手段が設けられた除振台と、この除振台上に搭載され、かつ自身は微小位置決め用の微動ステージを搭載して、与えられた目標位置へ位置決めされる大ストローク移動用のXYステージと、このXYステージを駆動させるリニア直流モータと、前記XYステージの位置を検出し前記目標位置との偏差信号に変換する位置検出変換手段と、この偏差信号に基づき、適当な補償が加えられた指令電圧を前記リニア直流モータに出力する手段と、前記リニア直流モータのコイルに生じる逆起電力を検出する手段と、前記指令電圧と前記逆起電力とに基づいて外乱量を検出する外乱オブザーバ手段と、この外乱量を打ち消すように前記指令電圧に対してフィードバックする手段とを具備することを特徴とするステージ制御装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, G12B 5/00
, H01L 21/027
