特許
J-GLOBAL ID：200903048972250986
エリプソメトリ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-261775
公開番号（公開出願番号）：特開平11-101739
出願日： 1997年09月26日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：
【要約】【課題】回転する部位を備えることなく構成できるエリプソメトリ装置を提供すること。【解決手段】試料70からの反射光の偏光状態を計測することにより前記試料70の状態を測定するエリプソメトリ装置において、各々が固定され前記反射光を偏光する複数の偏光手段(31,32)と、この複数の偏光手段(31,32)にて複数の方向へ偏光された前記反射光を検出する複数の検出手段(50,51,52)と、これら複数の検出手段(50,51,52)における検出結果から前記反射光の偏光状態を計測する計測手段(60)と、を具備。
請求項（抜粋）：
試料からの反射光の偏光状態を計測することにより前記試料の状態を測定するエリプソメトリ装置において、各々が固定され前記反射光を偏光する複数の偏光手段と、この複数の偏光手段にて複数の方向へ偏光された前記反射光を検出する複数の検出手段と、これら複数の検出手段における検出結果から前記反射光の偏光状態を計測する計測手段と、を具備したことを特徴とするエリプソメトリ装置。
IPC (3件)：
G01N 21/21
, G01B 11/06
, G01J 4/04
G01N 21/21 Z
, G01B 11/06 Z
, G01J 4/04 D
