磁気軸受装置の制御方法および加工装置の制御方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-320586
公開番号（公開出願番号）：特開2002-130275
出願日： 2000年10月20日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：

【要約】【課題】磁気軸受装置において、可変重量部の変化直後に軸が共振して落下し、固有振動数の測定および減衰部の調整が出来なくなる事があった。また、1次固有振動数による共振が大きい場合は、高次の固有振動数を正確に測定できない場合があった。【解決手段】磁気軸受1の回転体の可変重量部の変動による1次固有振動数変動の範囲に複数の固有振動数減衰部3を初期値として設定することにより、軸受の落下と1次固有振動数の測定ミスの防止を実現する。また、最初に1次固有振動数のみを測定し、この1次固有振動に対する固有振動数成分減衰部3を設定した後、2次以後の高次の固有振動数を測定することにより、高次の固有振動数測定精度を上げることにより、固有振動数の測定及び固有振動数減衰部の設定を安定かつ正確に行える磁気軸受制御装置を実現する。

請求項（抜粋）：

回転体を電磁石により所定の位置に支持し、前記回転体の位置をセンサにより検出し、前記センサにより検出された信号に基づいて前記電磁石に流す電流を制御し、回転体を非接触支持する磁気軸受装置の制御方法において、前記回転体の非接触支持前に複数のノッチフィルタを所望の間隔で合成する第1合成工程と、前記第1合成したノッチフィルタにより前記回転体の想定した固有振動数を減衰した駆動電流を前記電磁石に加え回転体を非接触支持する工程と、前記非接触支持した回転体を回転させる工程と、前記センサの測定に基づき前記回転体の固有振動数を測定する工程と、前記測定された固有振動を抑制するように前記ノッチフィルタを合成する第2合成工程と、前記第2合成したノッチフィルタにより減衰させた駆動電流を前記電磁石に加え回転体を非接触支持することを特徴とする磁気軸受装置の制御方法。

IPC (3件)：

F16C 32/04 , B23Q 15/12 , H02K 7/09

FI (3件)：

F16C 32/04 A , B23Q 15/12 A , H02K 7/09

Fターム (24件)：

3C001KA07 , 3C001KB10 , 3C001TB04 , 3C001TB08 , 3C001TC06 , 3J102AA01 , 3J102BA03 , 3J102BA19 , 3J102CA02 , 3J102CA13 , 3J102DA02 , 3J102DA03 , 3J102DA09 , 3J102DB05 , 3J102DB22 , 3J102DB24 , 3J102DB27 , 3J102DB32 , 3J102DB37 , 3J102GA07 , 5H607AA04 , 5H607BB01 , 5H607CC01 , 5H607GG17

引用特許：

審査官引用 (4件)

磁気軸受の制御装置及び制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-130806 出願人：松下電器産業株式会社
磁気軸受装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-091724 出願人：株式会社荏原製作所
特開平2-107814

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