特許
J-GLOBAL ID：200903049015342727

MEMSミラースキャナ

発明者：
今井 修

今井 修 について

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川上 佳史

川上 佳史 について

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下田 亨志

下田 亨志 について


出願人/特許権者：
住友精密工業株式会社

住友精密工業株式会社 について


代理人 (3件)： 穂上 照忠 ,  杉岡 幹二 ,  千原 清誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-165099
公開番号（公開出願番号）：特開2006-010715
出願日： 2004年06月02日
公開日（公表日）： 2006年01月12日
要約：
【課題】 MEMSミラースキャナにおいて、ポリゴンミラースキャナと同等以上の高速スキャニングを実現でき、例えば、レーザープリンタ用途で高精度スキャニングを実現することを目的とし、特にスキャニングミラー自体の形状、寸法などの最適化を図った構成のMEMSミラースキャナの提供。【解決手段】 入射角が浅く(小さく)なるほどかかる光経路の範囲を大きくする必要があり、光の入射角度が出射対象表面の直交方向に対して25°〜90°の範囲で、スキャニングミラーの揺動軸方向長さYと揺動軸に直交する方向長さXの比が1:1.1〜1:1.9が必要であり、ミラー周辺の空間を入射側が小さく、出射側が大きくし、光透過窓は当該ミラーに対して入出射側で非対称の形状とすることで、高精度化と小型化が達成できる。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
基板に形成したサスペンションビームで揺動支持可能に構成したスキャニングミラーを有するメイン基板のみ、または他基板と積層して構成するMEMSミラースキャナであり、光の入射角度が出射対象表面の直交方向に対して25°〜90°の範囲で、スキャニングミラーの揺動軸方向長さYと揺動軸に直交する方向長さXの比が1:1.1〜1:1.9であるMEMSミラースキャナ。
IPC (3件)：
G02B 26/10 ,  B81B 3/00 ,  B41J 2/44
FI (4件)：
G02B26/10 104Z ,  G02B26/10 F ,  B81B3/00 ,  B41J3/00 D
Fターム (4件)：
2C362BA17 ,  2H045AB02 ,  2H045AB43 ,  2H045AB72
引用特許：
出願人引用 (4件)
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