特許
J-GLOBAL ID：200903049015572013
外観検査装置
出願人/特許権者：
オリンパス光学工業株式会社
オリンパス光学工業株式会社 について
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-151975
公開番号（公開出願番号）：特開2000-035319
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：
【要約】【課題】本発明は、マクロ観察からミクロ観察への移行を自動化し、欠陥部の座標入力を簡単化する外観検査装置の提供を目的とする。【解決手段】本外観検査装置は、マクロ観察系17、ミクロ観察系18、マクロ観察系17及びミクロ観察系18の双方の観察領域内を移動可能なステージ14,15と、マクロ観察系17の像を取り込む第1の画像入力手段22と、ミクロ観察系18の像を取込む第2の画像入力手段27と、取込んだ像を可視化するモニタ手段39とを備えている。またマクロ観察系18で取込まれ表示された像の注目部位を座標指定手段41で指定し、その入力座標をステージ制御手段でステージ上の座標へ変換し、さらに注目部位をミクロ観察系18の光軸位置へ移動させるステージ制御量を算出するものとした。
請求項（抜粋）：
マクロ観察領域に配置された被検体からの物体光を取込んで所定倍率で拡大した被検体像を形成するマクロ観察系と、ミクロ観察領域に配置された被検体からの物体光を取込んでマクロ観察系よりも大きな倍率で拡大した拡大像を形成するミクロ観察系と、前記被検体を載置した状態で前記マクロ観察系及び前記ミクロ光学系の双方の観察領域内を移動可能なステージと、前記マクロ観察系により形成された被検体像を画像信号に変換する第1の画像入力手段と、前記ミクロ観察系により形成された被検体像を画像信号に変換する第2の画像入力手段と、前記第1の画像入力手段及び前記第2の画像入力手段で変換された各被検体像の画像信号を可視化するモニタ手段と、前記マクロ観察系で取込まれ前記モニタ手段で表示された被検体像の注目部位を座標指定すると共に各指定座標を記憶する座標指定手段と、ステージ原点に対する前記ミクロ観察系の光軸位置が予め記憶され、前記座標指定手段に記憶した注目部位の指定座標をステージ上の座標へ変換し、その変換座標と前記ミクロ観察系の光軸位置とステージの現在位置とから前記注目部位を前記ミクロ観察系の光軸位置へ移動させるステージ制御量を算出するステージ制御手段と、を具備したことを特徴とする外観検査装置。
IPC (5件)：
FI (5件)：
引用特許：
Copyright (c) 2009 Japan Science and Technology Agency. All Rights Reserved