特許

J-GLOBAL ID：200903049032266570

半導体製造装置

発明者： 嶋 伸也
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 特許業務法人 サトー国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-016328
公開番号（公開出願番号）：特開2009-177070
出願日： 2008年01月28日
公開日（公表日）： 2009年08月06日
要約：

【課題】半導体基板を載置する下部電極の温度を速やかに変更可能にする。【解決手段】本発明の半導体製造装置1は、チャンバー2内に配設され、半導体基板9を載置するものであって内部に流体が流通する流体流路10が設けられた下部電極4を備え、それぞれ異なる設定温度の流体を供給する複数の温度調節機18、19を備え、複数の温度調節機18、19から供給される複数の設定温度の流体の中からいずれか1つの流体を選択して下部電極4の流体流路10に流すように切り替える切り替え手段11、12を備えた。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

チャンバー内に配設され、半導体基板を載置するものであって内部に流体が流通する流体流路が設けられた下部電極と、 それぞれ異なる設定温度の流体を供給する複数の温度調節機と、 前記複数の温度調節機から供給される複数の設定温度の流体の中からいずれか1つの流体を選択して前記下部電極の流体流路に流すように切り替える切り替え手段とを備えたことを特徴とする半導体製造装置。

IPC (5件)：

H01L 21/306 ,  H01L 21/205 ,  C23C 16/46 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/683

FI (6件)：

H01L21/302 101G ,  H01L21/302 101B ,  H01L21/205 ,  C23C16/46 ,  C23C16/50 ,  H01L21/68 N

Fターム (28件)：

4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030FA03 ,  4K030KA18 ,  4K030KA22 ,  4K030LA15 ,  5F004AA16 ,  5F004BA04 ,  5F004BB18 ,  5F004BB26 ,  5F004BD04 ,  5F004CA06 ,  5F004EA28 ,  5F031CA02 ,  5F031HA37 ,  5F031HA38 ,  5F031MA32 ,  5F045AA08 ,  5F045DP02 ,  5F045DQ10 ,  5F045EH13 ,  5F045EH20 ,  5F045EJ09 ,  5F045EK07 ,  5F045EK10 ,  5F045EM02 ,  5F045GB05 ,  5F045HA22

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 半導体製造装置および半導体装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-268393   出願人：松下電子工業株式会社