特許

J-GLOBAL ID：200903049103327657

光導波路部品の製造方法

発明者： 川島 洋志 ,  植木 健 ,  中村 史朗
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-300315
公開番号（公開出願番号）：特開平11-133267
出願日： 1997年10月31日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：

【要約】【課題】 V溝を有する光導波路部品のコストダウンを図ることができる光導波路部品の製造方法を提供する。【解決手段】 基板1上に平面光導波路およびV溝1aを有する光導波路部品の製造方法であって、基板1面をエッチングしてV溝1aを形成する工程と、次いで、前記基板1上に下部クラッド層3およびコア層4を順次積層した後、コア層4をエッチングして光導波路コア部4aを形成し、次いで上部クラッド層5を積層して光導波路コア部4aを有する平面光導波路を形成する工程と、次いで、V溝1a上の上部クラッド層5および下部クラッド層3を除去してV溝1aを露出させる工程とを有する。

請求項（抜粋）：

基板上に平面光導波路およびV溝を有する光導波路部品の製造方法であって、基板面をエッチングしてV溝を形成する工程と、次いで、前記基板上に下部クラッド層およびコア層を順次積層した後、コア層をエッチングして光導波路コア部を形成し、次いで上部クラッド層を積層して光導波路コア部を有する平面光導波路を形成する工程と、次いで、V溝上の上部クラッド層および下部クラッド層を除去してV溝を露出させる工程とを有することを特徴とする光導波路部品の製造方法。

IPC (3件)：

G02B 6/30 ,  G02B 6/13 ,  G02B 6/40

FI (3件)：

G02B 6/30 ,  G02B 6/40 ,  G02B 6/12 M

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ハイブリッド光集積用実装基板及びその作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-130224   出願人：日本電信電話株式会社