特許
J-GLOBAL ID：200903049105949000
半導体装置の配線設計方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲垣 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-118397
公開番号（公開出願番号）：特開2000-311944
出願日： 1999年04月26日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：
【要約】【課題】 最適な仮想端子位置を設定することによって冗長な配線を無くし、配線の集積度を向上させることができる半導体装置の配線設計方法を提供する。【解決手段】 配線設計方法では、第1配線層11の実端子21から第4配線層14に達するビアを配置するにあたって、第1及び第4配線層11、14間で、第4配線層14における配線トラックと直交する方向の配線トラックを有する配線層の層数Nを求める。層数Nが奇数であれば、実端子21に対応する第4配線層14の配線トラックからN本以内で且つ奇数番目の配線トラックを実端子21と接続する仮想端子31を配置すべき最適候補トラックする。層数Nが偶数であれば、実端子21に対応する第4配線層14の配線トラック又は該配線トラックからN本以内で且つ偶数番目の配線トラックを最適候補トラックとする。
請求項（抜粋）：
各層が、マトリックス状に配置されたグリッドと、各グリッドを一の方向又は該一の方向と直交する方向に通過する複数の配線トラックとを有する3層以上の配線層を含む配線構造を、計算機援用設計を用いて設計する半導体装置の配線設計方法において、起点となる一の配線層の端子から他の配線層に達するビアを配置するにあたって、前記一の配線層と他の配線層との間で、該他の配線層における配線トラックと直交する方向の配線トラックを有する配線層の層数Nを求め、前記層数Nが奇数のときには、前記端子が位置する前記一の配線層の配線トラックと平面的に重なる前記他の配線層の配線トラックからN本以内で且つ奇数番目の配線トラックを前記端子と接続する別の端子を配置すべき最適候補トラックとし、前記層数Nが偶数のときには、前記端子が位置する前記一の配線層の配線トラックと平面的に重なる前記他の配線層の配線トラック又は該配線トラックからN本以内で且つ偶数番目の配線トラックを前記最適候補トラックとすることを特徴とする半導体装置の配線設計方法。
IPC (2件)：
FI (4件)：
H01L 21/82 W
, G06F 15/60 658 H
, G06F 15/60 658 J
, H01L 21/82 C
5B046AA08
, 5B046BA06
, 5F064DD25
, 5F064EE02
, 5F064EE03
, 5F064EE08
, 5F064EE13
, 5F064EE15
, 5F064EE16
, 5F064EE23
, 5F064EE26
, 5F064EE27
, 5F064HH06
