ピエゾ抵抗センサおよび方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大貫進介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-058409
公開番号（公開出願番号）：特開平8-261855
出願日： 1996年02月21日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【課題】タップが不要でマスクの不整合による影響を受けないピエゾ抵抗圧力センサを提供する。【解決手段】ピエゾ抵抗圧力センサ(30)は、4つの接合部(36)を有するブリッジ構造(33)に結合された4つの抵抗拡散領域(32)を有する。拡散領域の各々は、4つの接合部の1つに接続された第1端部と、4つの接合部の別の1つに接続された第2端部とを有する。4つの接点拡散端子(34)がブリッジ構造と接触状態で配置されている。各拡散端子は4つの接合部の1つに配され、本質的に接点拡散端子によってのみ拡散領域が電気的に接続される。したがって、接点拡散端子をブリッジの抵抗拡散領域に電気的に接続するためのタップが不要となり、その結果センサ感度を高めることができる。

請求項（抜粋）：

ピエゾ抵抗センサ(30)であって:第1拡散抵抗(32)および第2拡散抵抗(32);ならびに前記第1拡散抵抗および前記第2拡散抵抗の双方と接触する拡散端子(34);から成り、前記第1拡散抵抗および前記第2拡散抵抗は前記拡散端子を通じてのみ、導通接触することを特徴とするピエゾ抵抗センサ(30)。

IPC (2件)：

G01L 9/04 101 , H01L 29/84

FI (2件)：

G01L 9/04 101 , H01L 29/84 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-247667
特開平1-211986
応力検出半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-040125 出願人：三菱電機エンジニアリング株式会社, 三菱電機株式会社

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