特許
J-GLOBAL ID：200903049154148110
薬液の供給方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-230259
公開番号（公開出願番号）：特開平11-062838
出願日： 1997年08月12日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：
【要約】【課題】 使用する薬液を所定の圧力で一定量供給可能にした薬液の供給方法及びその装置を提供すること。【解決手段】 計量タンク4内に貯留されるIPAの所定量を蒸気発生器5等の処理部へ供給する往復動ポンプを、単位時間当りに発生させるパルス状加圧気体の導入によって駆動するダイヤフラムポンプ41にて形成し、ダイヤフラムポンプ41の吐出側に、圧力検知用の圧力スイッチ42を配設し、この圧力スイッチ42からの検知信号に基づいてダイヤフラムポンプ41により吐出されるIPAの圧力波形をモニタする。また、圧力スイッチ42からの検知信号をCPU43に伝達し、CPU43からの制御信号に基づいてダイヤフラムポンプ41の駆動用パルス状加圧気体の圧力を制御する。
請求項（抜粋）：
タンク内に貯留される薬液の所定量を往復動ポンプの駆動によって処理部へ供給する薬液の供給方法において、上記ポンプの吐出量を、単位時間当りに発生させるパルス状加圧気体の回数と、ダイヤフラムの駆動ストロークにより変化させ、上記ポンプの吐出側に配設される圧力検知手段により吐出される薬液の圧力波形をモニタする、ことを特徴とする薬液の供給方法。
IPC (7件)：
F04B 43/02
, F04B 15/00
, F04B 43/067
, F15B 21/12
, G01F 11/36
, G05B 23/02 301
, H01L 21/304 361
F04B 43/02 F
, F04B 15/00
, F15B 21/12
, G01F 11/36
, G05B 23/02 301 P
, H01L 21/304 361 V
, F04B 43/06 C
