真空成膜装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：前田弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-018722
公開番号（公開出願番号）：特開2000-218149
出願日： 1999年01月27日
公開日（公表日）： 2000年08月08日
要約：

【要約】【課題】真空槽1内にモニタガラスGMを基板と同等の条件で成膜されるように配置し、検知光を照射して基板の成膜状態をモニタするようにしたロードロック式の蒸着装置において、真空槽1の真空状態を維持したまま、多数枚のモニタガラスGM,GM,...を基板の多層膜の成膜の都度、交換でき、かつ、基板と同時に多数枚をカートリッジで一括交換できるようにする。【解決手段】供給部32に積み重ねて収容されている多数枚のモニタガラスGM,GM,...を1枚ずつガラス保持部44に保持した状態で検知光の光路BLを横切るモニタステーションS5に移動させて成膜させた後に回収部33に回収する供給回収動作を行うホルダ43を有するカートリッジ28を設け、真空槽1内にはカートリッジ28を装着可能なカートリッジ駆動機構54を設け、このカートリッジ駆動機構54にカートリッジ28を位置決め状態で装着することで、そのホルダ43に供給回収動作を行わせる。

請求項（抜粋）：

真空槽内にモニタガラスを基板と同等の条件で成膜されるように配置し、上記基板を成膜するときに上記モニタガラスへ検知光を照射して基板の成膜状態をモニタするようにした真空成膜装置において、成膜前の多数枚のモニタガラスを収容する供給部と、成膜された多数枚のモニタガラスを収容して回収可能な回収部と、上記供給部のモニタガラスを1枚ずつ保持した状態で上記検知光の光路を横切るモニタステーションに移動させて成膜させた後に回収部に回収する供給回収動作を行うホルダとを有するカートリッジと、真空槽内に設けられ、上記カートリッジを装着しかつ該装着状態で上記ホルダを供給回収動作が行われるように駆動するカートリッジ駆動手段とを備えていることを特徴とする真空成膜装置。

IPC (4件)：

B01J 3/00 , B01J 3/02 , B01J 19/00 , C23C 14/54

FI (4件)：

B01J 3/00 J , B01J 3/02 P , B01J 19/00 K , C23C 14/54 E

Fターム (13件)：

4G075AA24 , 4G075AA65 , 4G075BC01 , 4G075CA32 , 4G075CA65 , 4G075EB32 , 4G075EB33 , 4G075ED01 , 4G075ED13 , 4G075FB06 , 4K029DA00 , 4K029EA01 , 4K029KA09

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平4-041671
特開平1-164434
特開平1-116073

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