特許
J-GLOBAL ID:200903049192690565
複合振動子及びそれを用いた振動ジャイロ及びそれを用いた電子装置、及び複合振動子の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-343332
公開番号(公開出願番号):特開2002-148049
出願日: 2000年11月10日
公開日(公表日): 2002年05月22日
要約:
【要約】【課題】 小型化した場合であっても、感度が低下しない複合振動子を提供する。【解決手段】 それぞれ同一の長さを有する音片振動子100、200と、音片振動子100、200を支持する支持部材104a、104b、104c、104dとを有し、音片振動子100、200は、その長手方向に直交する方向に整列され、それぞれの両端自由屈曲振動のノードN1、N2、N3、N4近傍において、互いに結合されていることを特徴とする。【効果】 複数個の音片振動子が互いに結合されているため、その質量が増加する。したがって、音片振動子の長手方向の長さが短くなっても、質量が増加した分だけ角速度の検出感度が向上する。
請求項(抜粋):
それぞれ同一の長さを有する複数個の音片振動子と、前記音片振動子を支持する支持部材とを有する複合振動子であって、複数個の前記音片振動子は、その長手方向に直交する方向に整列され、それぞれの両端自由屈曲振動のノード近傍において、互いに結合されていることを特徴とする、複合振動子。
IPC (4件):
G01C 19/56
, B06B 1/06
, G01P 9/04
, G03B 5/00
FI (4件):
G01C 19/56
, B06B 1/06 Z
, G01P 9/04
, G03B 5/00 G
Fターム (22件):
2F105AA02
, 2F105AA08
, 2F105AA10
, 2F105BB13
, 2F105BB15
, 2F105CC01
, 2F105CC11
, 2F105CD02
, 2F105CD06
, 2F105CD11
, 2F105CD13
, 5D107AA03
, 5D107AA13
, 5D107AA20
, 5D107BB06
, 5D107BB09
, 5D107BB20
, 5D107CC01
, 5D107CC05
, 5D107CC06
, 5D107CC12
, 5D107FF06
引用特許: