特許
J-GLOBAL ID：200903049193036648
ウエットエッチング装置およびウエットエッチングの方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-199432
公開番号（公開出願番号）：特開平11-350169
出願日： 1998年06月10日
公開日（公表日）： 1999年12月21日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】ウエットエッチングにおいて異方性エッチングのできるエッチング装置とその製造方法を提供し、これによって微細寸法の加工を行い、大量生産することにより均質な精密部品を安価に提供する。【解決手段】加圧した薬液をノズルから噴出させ、これを試料表面に垂直に当てる構成部をもち、薬液が加工部に加圧されずにそのままとどまっているとサイドエッチが進行し異方性エッチングがくずれるので、加工後の薬液を高圧ガスで試料表面から飛散させる機構、あるいは薬液を中和する機構を持つエッチング装置。
請求項（抜粋）：
試料をウエットエッチングする装置において、加圧した薬液をエッチングノズルから試料表面に噴出させる機構を持った構成であることを特徴としたウエットエッチング装置。
IPC (2件)：
C23F 1/08 103
, H01L 21/306
C23F 1/08 103
, H01L 21/306 J
