特許
J-GLOBAL ID：200903049206024733
水晶振動子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-336476
公開番号（公開出願番号）：特開平9-181546
出願日： 1995年12月25日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：
【要約】【課題】 ウエハの状態で調整蒸着が行われ、ウエハ内での調整量のバラツキが大きい場合でも、最終的に得られる周波数のバラツキを少なくすることができる水晶振動子の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 両面にベース電極を形成した振動部を含む複数の振動子素片を縦横に配列したウエハ状の水晶基板の振動子素片毎のベース電極上に調整用電極を形成した後にアニール等の後工程を経て水晶振動子を得る際、上記調整用電極の形成時に、振動子素片毎の初期周波数値と目標周波数値との相対値から所定関数による近似式に基づく補正値を求め、この補正値を上記相対値に加算して設定した調整蒸着量の調整用電極を形成する。
請求項（抜粋）：
両面にベース電極を形成した振動部を含む複数の振動子素片を縦横に配列したウエハ状の水晶基板の振動子素片毎のベース電極上に調整用電極を形成した後にアニール等の後工程を経て両面に第一、第二のケース体を被着し、その後、上記ウエハ状の水晶基板及び第一、第二のケース体を上記振動子素片毎に分断して水晶振動子を得る水晶振動子の製造方法であって、上記調整用電極の形成時に、振動子素片毎の初期周波数値と目標周波数値との相対値から所定関数による近似式に基づく補正値を求め、この補正値を上記相対値に加算して設定した調整蒸着量の調整用電極を形成することを特徴とする水晶振動子の製造方法。
IPC (3件)：
H03H 3/04
, H03H 3/02
, H03H 9/19
H03H 3/04 B
, H03H 3/02 C
, H03H 9/19 A
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る
