特許

J-GLOBAL ID：200903049251938894

固体撮像装置およびその駆動方法

発明者： 鈴木 亮司 ,  上野 貴久 ,  馬渕 圭司
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 野田 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-340440
公開番号（公開出願番号）：特開2003-143480
出願日： 2001年11月06日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
要約：

【要約】【課題】 読み出しトランジスタにおける空乏化を抑制し、リーク電流を減少させてノイズの減少を図る。【解決手段】 フォトダイオードPDと、読み出し選択トランジスタTtx、読み出しトランジスタTty、増幅トランジスタTa、リセットトランジスタTr、水平選択トランジスタTxで各単位画素を構成し、点順次読み出し5Tr方式のMOSイメージセンサを構成する。そして、読み出しトランジスタTtxと読み出し選択トランジスタTtyを2層ゲート構造で構成し、各ゲート電位を負電位に設定する。これにより、読み出しトランジスタTtxと読み出し選択トランジスタTtyのゲート領域の下層を負電位に制御し、その空乏化を抑制し、リーク電流の減少を図る。

請求項（抜粋）：

水平方向と垂直方向の2次元マトリクス状に配置された複数の単位画素を有し、前記単位画素内に、受光量に応じて信号電荷を蓄積する光電変換手段と、前記光電変換手段によって得られた信号電荷を取り出すためのフローティングディフュージョン部と、前記フローティングディフュージョン部の信号電荷による電位変動を取り出す増幅トランジスタと、前記光電変換手段によって蓄積された信号電荷をライン選択信号に基づいてフローティングディフュージョン部に転送する読み出しトランジスタと、前記読み出しトランジスタを画素選択信号に基づいて制御する読み出し選択トランジスタとを有する固体撮像装置であって、前記読み出しトランジスタおよび読み出し選択トランジスタのゲート電極を互いに異なる2層の電極層を用いて形成し、少なくとも光電変換手段側のトランジスタのゲート電位をウエル領域に対し負電位に設定した、ことを特徴とする固体撮像装置。

IPC (2件)：

H04N 5/335 ,  H01L 27/146

FI (3件)：

H04N 5/335 E ,  H04N 5/335 P ,  H01L 27/14 A

Fターム (15件)：

4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118CA02 ,  4M118DD09 ,  4M118FA06 ,  5C024CX03 ,  5C024GX03 ,  5C024GX16 ,  5C024GY18 ,  5C024GY23 ,  5C024GY31 ,  5C024GY36 ,  5C024GY37 ,  5C024GY38 ,  5C024HX13

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭61-206379
  
• 固体撮像素子およびその駆動方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-195270   出願人：ソニー株式会社
• 固体撮像装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-255905   出願人：ソニー株式会社
• 固体撮像素子およびその駆動方法ならびにカメラシステム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-196875   出願人：ソニー株式会社