特許
J-GLOBAL ID：200903049267926390

複合荷電粒子ビーム装置

発明者：
大井 將道

大井 將道 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツルメンツ株式会社

セイコーインスツルメンツ株式会社 について


代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-137119
公開番号（公開出願番号）：特開平11-329331
出願日： 1998年05月19日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：
【要約】【課題】 残留磁場による集束イオンビームの質量分離の防止及び電子ビームのフォーカスの再現性、安定性の向上。【解決手段】 同一の試料室に集束イオンビーム鏡筒と電子ビーム鏡筒と磁場測定器を備え、試料室内の残留磁気を測定して、電磁気的手法により集束イオンビームの軌道上の磁場を制御する機能を備えたことを特徴とする複合荷電粒子ビーム装置。試料室内の磁場を測定して、その値があらかじめ記憶した値になるように電磁気的手法で制御する。
請求項（抜粋）：
同一の試料室に、少なくとも1式以上の集束イオンビーム鏡筒と、少なくとも1式以上の電子ビーム鏡筒を備えた複合荷電粒子ビーム装置において、集束イオンビーム鏡筒も含む試料室の中に少なくとも1方向成分の測定が可能な磁場測定用の検出器とその測定値の記憶手段を備え、集束イオンビームの軌道上の磁場を制御する電磁気的手法を備えたことを特徴とする複合荷電粒子ビーム装置。
IPC (4件)：
H01J 37/30 ,  H01J 37/24 ,  H01J 37/252 ,  H01J 37/28
FI (4件)：
H01J 37/30 Z ,  H01J 37/24 ,  H01J 37/252 B ,  H01J 37/28 B
引用特許：
審査官引用 (3件)

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