表面検査装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-231068
公開番号（公開出願番号）：特開平11-064228
出願日： 1997年08月27日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：

【要約】【課題】検査対象物の位置、高さを精度良く、高速に測定することを可能にする。【解決手段】検査対象物であるCSパッケージ53の表面の画像を撮像するCCDカメラ16と、CCDカメラ16によって撮像された画像により検査対象物表面の突起物(半田ボール54)の位置を算出する画像処理装置24と、検査対象物面上の突起物の高さを検出するセンサ12と、画像処理装置24によって算出された突起物の位置に応じて、センサ12を検査対象物表面の突起物の位置へ移動させるセンサ位置設定装置22及び駆動装置20とを具備する。

請求項（抜粋）：

検査対象物の表面の画像を撮像する撮像手段と、前記撮像手段によって撮像された画像により検査対象物表面の突起物の位置を算出する画像処理手段と、前記検査対象物面上の突起物の高さを検出する高さ検出手段と、前記画像処理手段によって算出された突起物の位置に応じて、前記高さ検出手段を検査対象物表面の突起物の位置へ移動させる移動手段とを具備したことを特徴とする表面検査装置。

IPC (7件)：

G01N 21/84 , G01B 11/00 , G01B 11/02 , G06T 7/00 , G06T 7/60 , H01L 21/66 , H04N 7/18

FI (7件)：

G01N 21/84 Z , G01B 11/00 H , G01B 11/02 H , H01L 21/66 J , H04N 7/18 B , G06F 15/62 405 B , G06F 15/70 350 B

引用特許：

出願人引用 (7件)

検査装置及び検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-150947 出願人：オムロン株式会社
特開平4-261718
特開平3-110494

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審査官引用 (5件)

検査装置及び検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-150947 出願人：オムロン株式会社
特開平4-261718
特開平3-110494

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