特許

J-GLOBAL ID：200903049326183223

酸化亜鉛薄膜の製造装置、製造方法及びそれを用いた光起電力素子の製造方法

発明者： 中村 哲郎
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-005762
公開番号（公開出願番号）：特開平10-259496
出願日： 1998年01月14日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：

【要約】【課題】 長尺導電性基板裏面への酸化亜鉛薄膜の堆積を防止し、基板搬送時の搬送系からの逸脱を防止し、基板上へ均一な成膜を行う。【解決手段】 少なくとも硝酸イオン及び亜鉛イオンを含有する水溶液を保持する容器と、該溶液中に浸漬された電極と、同じく該溶液中に浸漬された長尺導電性基板の一方の面(酸化亜鉛非形成面)を被覆しつつ該基板を搬送する回転ベルトと、前記電極と前記基板に接続された電源と、を有することを特徴とする酸化亜鉛薄膜製造装置。

請求項（抜粋）：

少なくとも硝酸イオン及び亜鉛イオンを含有する水溶液を保持する容器と、該溶液中に浸漬された電極と、同じく該溶液中に浸漬された長尺導電性基板の一方の面を被覆しつつ該基板を搬送する回転ベルトと、前記電極に接続された電源と、を有することを特徴とする酸化亜鉛薄膜製造装置。

IPC (5件)：

C25D 9/08 ,  B65G 15/58 ,  B65G 49/02 ,  B65H 23/30 ,  H01L 31/04

FI (5件)：

C25D 9/08 ,  B65G 15/58 A ,  B65G 49/02 C ,  B65H 23/30 ,  H01L 31/04 M

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 酸化亜鉛膜作製用電解液
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-023775   出願人：大阪市, 奥野製薬工業株式会社
• 特開昭51-020730