特許

J-GLOBAL ID：200903049353953170

フランジ部付石英ガラス製器具

発明者： 大越 信一
出願人/特許権者： 株式会社山形信越石英 ,  信越石英株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-030076
公開番号（公開出願番号）：特開平7-237927
出願日： 1994年02月28日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】Oリングの熱劣化を防止し、器具内のシール性を保持できるフランジ部付石英ガラス製器具を提供する。【構成】本発明のフランジ部付石英ガラス製器具は、フランジ部が、比重2.08〜2.18、気泡直径10〜160μm、気泡密度10万〜60万個/cm3 、ガラス中の気泡総体積3〜10%、ガラス中100cm3 当たりの気泡総面積が800〜1500cm2 、純度Na≦0.2ppm ,K≦0.2ppm ,OH≦10ppmの物性値をもつ不透明石英ガラスで構成されている。

請求項（抜粋）：

フランジ部付石英ガラス製器具において、該フランジ部が下記物性値を持つ不透明石英ガラスで構成されていることを特徴とするフランジ部付石英ガラス製器具。比重 2.08〜2.18気泡直径 10〜160μm気泡密度 10万〜60万個/cm3不透明石英ガラス中に占める気泡総体積が3〜10%不透明石英ガラス中 100cm3 当たりの気泡総面積が 800〜 1500 cm2純度 Na≦0.2ppm ,K≦0.2ppm ,OH≦10ppm

IPC (2件)：

C03B 20/00 ,  C30B 25/08

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 特開昭64-012523
  
• 特開平2-268420
  
• 特開平4-065328
  
• 特開昭62-259434
  
• 熱処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-352856   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社

審査官引用 (4件)

• 特開昭64-012523
  
• 特開平2-268420
  
• 特開平4-065328
  
• 特開昭62-259434