パルスレーザ発振装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鵜沼辰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-310525
公開番号（公開出願番号）：特開平8-167748
出願日： 1994年12月14日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：

【要約】【目的】大出力のパルスレーザ発振装置における高繰返し発振時での出力低下を無くし、安定なレーザ出力を得ることである。【構成】レーザガスが封入されたケーシング1内には、光軸方向に沿って一対の主放電電極3が相対向して設けられている。またケーシング1には、レーザ装置内部と大気側とを遮断し且つレーザ光を取り出すためのレーザ光取り出し窓4が取り付けられている。レーザ装置外部の光軸上には、レーザ光の一部を透過する出力鏡6と全反射鏡7とが配置され、これら出力鏡6と全反射鏡7により、レーザ発振のための光共振器が形成されている。そして、一対の主放電電極3で形成される主放電空間とレーザ光取り出し窓4との間には、衝撃波吸収用多孔板10が設けている。衝撃波吸収用多孔板10には中央にレーザ光通過孔が1つ形成され、その周囲には小さな開口部が多数形成されている。

請求項（抜粋）：

レーザガスが封入されたケーシングと、前記ケーシング内に互いに対向配置された一対の主放電電極と、前記ケーシング内でレーザガスを循環させるガス循環駆動手段と、前記ケーシングに取り付けられ、その取り付け位置が前記主放電電極の軸延長線上であるレーザ光取り出し窓とを備え、前記ガス循環駆動手段でレーザガスを循環させながら、前記主放電電極で放電を行ってレーザガスを励起させ、前記レーザ光取り出し窓からレーザ光を取り出す構成のパルスレーザ発振装置において、前記一対の主放電電極で形成される主放電空間と前記レーザ光取り出し窓との間に、複数個の開口部を有し衝撃波を吸収する衝撃波吸収多孔板を設けたことを特徴とするパルスレーザ発振装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-178179
特開平2-222180
ガスレーザ発振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-234006 出願人：株式会社東芝

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