特許
J-GLOBAL ID：200903049419366980

テーピング装置

発明者：
富沢 喜男

富沢 喜男 について

, 
小松 龍一

小松 龍一 について


出願人/特許権者：
三洋電機株式会社

三洋電機株式会社 について

, 
三洋ハイテクノロジー株式会社

三洋ハイテクノロジー株式会社 について


代理人 (1件)： 芝野 正雅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-040651
公開番号（公開出願番号）：特開2002-240802
出願日： 2001年02月16日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：
【要約】【課題】 ダイシングされシート上に貼り付けられたダイ(チップ部品)をトレイに移載することなく、テープ本体に収納し、生産効率の向上を図ること。【解決手段】 ウエハテーブル6上のシート16上のバンプ面が上面となっている状態のチップ部品17を部品取出装置3の吸着ノズル18が下降して吸着して取出す。この取出し後、部品取出装置3を水平移動させながら、当該吸着ノズル18を間欠回転モータ35の駆動により180度回転させて上方を向かせ、移載装置4の直下方に位置させる。一方、移載装置4の吸着ノズル52を下降させ、部品取出装置3の吸着ノズル18に保持されたチップ部品17をバンプ面を下にした状態で移載装置4の吸着ノズル52が吸着して受け継ぐ。そして、移載装置4が水平方向に移動して、チップ部品17を搬送装置5のテープ本体60の収納溝64内に移載する。
請求項（抜粋）：
テープ供給リールに巻装されるテープ本体内の収納溝にチップ部品を挿入し、カバーテープで当該収納溝上面の開口部を閉塞して成るテーピング装置において、ダイシングされたウエハが貼付されたシートが固定されたウエハテーブルを水平方向に移動可能なウエハ支持台と、該ウエハ支持台からチップ部品を取出すもので周囲に所定間隔を存して複数の吸着ノズルが配設されたノズルホルダを該吸着ノズルにより吸着したチップ部品が上方となるように水平線回りに回動可能とする部品取出装置と、前記ノズルホルダの吸着ノズルに吸着されて上方となったチップ部品を上下動可能な吸着ノズルで受け継いで前記テープ本体の収納溝内に移載するもので水平方向に移動可能な移載装置と、該移載装置による移載後の前記テープ本体を順次搬送しつつカバーテープで当該収納溝上面の開口部を閉塞する搬送装置とから成ることを特徴とするテーピング装置。
IPC (4件)：
B65B 15/04 ,  H01L 21/50 ,  H01L 21/68 ,  B65D 85/86
FI (4件)：
B65B 15/04 C ,  H01L 21/50 C ,  H01L 21/68 E ,  B65D 85/38 P
Fターム (18件)：
3E096AA05 ,  3E096BA16 ,  3E096BB03 ,  3E096CA15 ,  3E096CB10 ,  3E096DA05 ,  3E096DB07 ,  3E096DC01 ,  3E096EA02X ,  3E096EA02Y ,  3E096FA30 ,  3E096GA01 ,  5F031CA13 ,  5F031DA15 ,  5F031GA23 ,  5F031GA51 ,  5F031MA34 ,  5F031MA37
引用特許：
審査官引用 (1件)

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