特許
J-GLOBAL ID：200903049435097728
ウェーハの接着装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-077814
公開番号（公開出願番号）：特開平11-277422
出願日： 1998年03月25日
公開日（公表日）： 1999年10月12日
要約：
【要約】【課題】 ウェーハを均一に反らせて、エア溜まりが発生しないようにすると共に、内部ひずみの発生を防止でき、プレートへ好適に接着できること。【解決手段】 保持ヘッド16の基体18の表面側に周縁部で固定され、凸面状に反ることが可能に弾性材によって設けられ、表面がウェーハ10を吸着する吸着面21として形成された弾性吸着面体20と、弾性吸着面体20の吸着面21に吸引口23が開口し、吸着面21にウェーハ10を真空吸着すべく真空発生装置28に連通する吸引通路22と、吸着されるウェーハ10の他方の面の周縁近傍に当接するようにリング状に設けられ、吸着面21へウェーハ10を真空吸着すべく真空減圧可能に気密するV-リング30と、保持ヘッド16の基体18と弾性吸着面体20の間に気密されて設けられ、高圧流体源34に連通している加圧室32とを具備する。
請求項（抜粋）：
ウェーハを剛性の高いプレートに接着するウェーハの接着装置において、ウェーハを保持する保持ヘッドの基体の表面側に周縁部で固定され、凸面状に反ることが可能に弾性材によって設けられ、表面が、一方の面に接着剤が塗布されたウェーハを該ウェーハの他方の面に当接して吸着する吸着面として形成された弾性吸着面体と、該弾性吸着面体の吸着面に吸引口が開口し、該吸着面に前記ウェーハを真空吸着すべく真空発生装置に連通する吸引通路と、前記弾性吸着面体に、前記吸引口を囲むと共に、吸着される前記ウェーハの他方の面の周縁近傍に当接するようにリング状に設けられ、前記吸着面へ前記ウェーハを真空吸着すべく真空減圧可能に気密するリング状シール部と、前記保持ヘッドの基体と前記弾性吸着面体の間に気密されて設けられ、前記弾性吸着面体を高圧流体によって凸面状に反らせて該弾性吸着面体に吸着されたウェーハを反らせるべく、高圧流体源に連通している加圧室とを具備することを特徴とするウェーハの接着装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 37/04 H
, H01L 21/02 B
