特許

J-GLOBAL ID：200903049450265807

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： 番場 敏夫 ,  竹田 直滋 ,  真壁 裕明 ,  竹田 敏郎
出願人/特許権者： 住友ベークライト株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-164472
公開番号（公開出願番号）：特開平10-010740
出願日： 1996年06月25日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 基板との優れた密着性を有する新規なポジ型感光性樹脂を提供すること。【解決手段】 一般式(1)で示されるポリアミド(A)100重量部と感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部と一般式(2)で表わされる有機ケイ素化合物(C)0.1〜20重量部からなるポジ型感光性樹脂組成物。式中X:4価の芳香族基Y:2価の芳香族基(R1、R2:2価の有機基、R3、R4:1価の有機基)a、bはモル分率を示し、a+b=100モル%a=60.0〜100.0モル%b=0〜40.0モル%n=2〜500(式中R5:4価の芳香族基R6:2価の有機基R7,R8:1価の有機基、互いに独立であり、同じでも異なっていてもよい。l:0,1又は2)

請求項（抜粋）：

一般式(1)で示されるポリアミド(A)100重量部と感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部と一般式(2)で表わされる有機ケイ素化合物(C)0.1〜20重量部からなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【化2】

IPC (9件)：

G03F 7/075 501 ,  C08G 73/10 NTF ,  G03F 7/016 501 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/039 501 ,  G03F 7/085 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312 ,  H05K 3/28

FI (9件)：

G03F 7/075 501 ,  C08G 73/10 NTF ,  G03F 7/016 501 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/039 501 ,  G03F 7/085 ,  H01L 21/312 B ,  H05K 3/28 D ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ポジ型感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-253147   出願人：住友ベークライト株式会社
• ポジ型感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-158400   出願人：住友ベークライト株式会社
• ポジ型感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-068799   出願人：住友ベークライト株式会社
• 特開平1-215869