ポジ型感光性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-158400
公開番号（公開出願番号）：特開平8-022118
出願日： 1994年07月11日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：

【要約】【構成】ポリベンゾオキサゾール前駆体(A)、シリコーンジアミンを全ジアミンの30モル%以上を含むポリアミド酸(B)および下記式の感光性ジアゾキノン(C)を必須成分とするポジ型感光性樹脂組成物において、各成分の配合割合が重量比で(B)/(A)=(1〜100)/100、(C)/(A)=(1〜100)/100であるポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【効果】シリコンウェハー等の基板との密着性に優れ、かつ現像時において高残膜率のパターンを得ることができる。

請求項（抜粋）：

ポリベンゾオキサゾール前駆体(A)、一般式(1)で表せられる構造のジアミンを全ジアミンの30モル%以上を含むポリアミド酸(B)および一般式(2)で表される感光性ジアゾキノン(C)を必須成分とするポジ型感光性樹脂組成物において、各成分の配合割合が重量比で(B)/(A)=(1〜100)/100、(C)/(A)=(1〜100)/100であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【化2】

IPC (6件)：

G03F 7/004 501 , C08K 5/28 , C08L 79/04 LQZ , C08L 79/08 LRB , G03F 7/022 , G03F 7/037

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平4-031860
ポジ型感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-165320 出願人：住友ベークライト株式会社
特開平4-046345

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