特許

J-GLOBAL ID：200903049459025868

ガスレーザ発振装置

発明者： 岡田 誠
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (2件)： 高橋 敬四郎 ,  来山 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-225480
公開番号（公開出願番号）：特開2006-049422
出願日： 2004年08月02日
公開日（公表日）： 2006年02月16日
要約：

【課題】 ガスレーザ発振装置を構成するウインドウの汚染を防止する。【解決手段】 ベッセル1、ゲート弁5及びハウジング6によって構成される容器構造体が、レーザ媒質ガスとそれを励起する放電電極2a及び2bとが収容される主空洞S1、並びにレーザ光Lの伝搬方向に関して、一端部を主空洞S1の内壁面に開口させた第1の開口部21とし、他端部を外部の空間に通じる第2の開口部22として構成された中間空洞S2を画定する。ウインドウ61が、第2の開口部22を閉塞している。主空洞S1の内壁面における第1の開口部21の周囲に設けられた傾斜部材25が、レーザ光Lの伝搬方向と直交する仮想平面に沿って、第1の開口部21の中心に近づくに従って、その仮想平面から主空洞S1側へ持ち上がるように傾斜した傾斜面251を有する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

レーザ媒質ガス及び該レーザ媒質ガスを励起する励起器が収容される主空洞、並びに前記主空洞内のレーザ媒質ガスが前記励起器によって励起されることにより発生するレーザ光が通過する中間空洞であって、該レーザ光の伝搬方向に関して、一端部を前記主空洞の内壁面に開口させた第1の開口部とし、他端部を外部の空間に通じる第2の開口部として構成された中間空洞を画定する容器構造体と、 前記容器構造体によって保持され、前記第2の開口部を閉塞する板状体と、 前記主空洞の内壁面における前記第1の開口部の周囲に設けられ、前記第1の開口部の中心に近づくに従って、前記主空洞の内壁面からの高さが高くなるように傾斜した傾斜面を有する傾斜部材と を備えたガスレーザ発振装置。

IPC (1件)：

H01S 3/036

FI (1件)：

H01S3/03 J

Fターム (8件)：

5F071AA06 ,  5F071DD07 ,  5F071DD08 ,  5F071EE04 ,  5F071EE08 ,  5F071JJ03 ,  5F071JJ05 ,  5F071JJ10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• レーザ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-149971   出願人：住友重機械工業株式会社