特許

J-GLOBAL ID：200903049473069932

アクチュエータ

発明者： 植木 千歳
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-372076
公開番号（公開出願番号）：特開2004-207340
出願日： 2002年12月24日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：

【課題】接触不良が生じにくく、特性低下を抑制したアクチュエータを提供する。【解決手段】圧電磁器からなる圧電基板2と、該圧電基板2の主面の一部に設けられた複数の表面電極9aと、該圧電基板2の内部に設けられた複数の内部電極9bと、前記電極間を電気的に接続するビア電極9cと、前記圧電基板2に接着層を介して接着された支持部材3とを具備するアクチュエータ1において、全体の厚みが100μm以下であるとともに、電圧が印加される全ての前記内部電極9bの主面に、前記ビア電極9cの端面が当接してなる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

圧電磁器からなる圧電基板と、該圧電基板の主面の一部に設けられた複数の表面電極と、該圧電基板の内部に設けられた複数の内部電極と、前記電極間を電気的に接続するビア電極と、前記圧電基板に接着層を介して接着された支持部材とを具備するアクチュエータにおいて、全体の厚みが100μm以下であるとともに、電圧が印加される全ての前記内部電極の主面に、前記ビア電極の端面が当接してなることを特徴とするアクチュエータ。

IPC (5件)：

H01L41/083 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16 ,  H01L41/187

FI (5件)：

H01L41/08 Q ,  B41J3/04 103H ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101D ,  B41J3/04 103A

Fターム (10件)：

2C057AF69 ,  2C057AF93 ,  2C057AG90 ,  2C057AG94 ,  2C057AP02 ,  2C057AP16 ,  2C057AP22 ,  2C057AP57 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 積層圧電素子および積層圧電素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-063211   出願人：キヤノン株式会社, 太平洋セメント株式会社
• 特開昭62-139371
  
• 圧電形駆動体及びインクジェット記録ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-256508   出願人：株式会社リコー