特許
J-GLOBAL ID:200903049514264427

ヒドロキシルアミンとアルカノールアミンとを含む 水性の剥離用組成物及びその使用方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 廣江 武典
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-013338
公開番号(公開出願番号):特開平7-325404
出願日: 1994年02月07日
公開日(公表日): 1995年12月12日
要約:
【要約】【目的】実質的に人体及び環境に対して全く毒性がなく、水溶性、実質的に不燃性、非腐食性であって、ほとんど揮発せず、一般的に非反応性であって、生物学的に分解される水性の剥離組成物とその使用方法の提供。【構成】約55〜70重量%のモノエタノールアミンと、約22.5〜15重量%のヒドロキシルアミンと、水と、の混合物を含む水性の剥離組成物とその使用方法であって、当該組成物には、必要に応じて、カテコール、ピロカテコール、ピロガロール、アントラニール酸、o-ヒドロキシアニリン、1,2-ジヒドロキシシクロヘキサン、没食子酸、没食子酸エステルを含む群から選択された少なくとも一種以上の腐食防止剤が約10重量%未満添加される。
請求項(抜粋):
約55〜約70重量%のモノエタノールアミンと、約22.5〜約15重量%のヒドロキシルアミンと、水と、の混合物を含むことを特徴とする水性の剥離用組成物。
IPC (3件):
G03F 7/42 ,  C09D 9/00 PSS ,  H01L 21/027
引用特許:
審査官引用 (4件)
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