特許

J-GLOBAL ID：200903049514635697

超音波センサ素子と超音波アレイセンサ装置とそれらの共振周波数の調整方法

発明者： 山下 馨
出願人/特許権者： 財団法人大阪産業振興機構
代理人 (1件)： 青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-083275
公開番号（公開出願番号）：特開2003-284182
出願日： 2002年03月25日
公開日（公表日）： 2003年10月03日
要約：

【要約】【課題】 超音波アレイセンサ装置においては、被測定物体の位置測定を含む物体認識を行う。【解決手段】 超音波センサ素子20は、強誘電体であるPZTセラミックス薄膜層17を2つの電極16,18で挟設してなり、所定の共振周波数を有して超音波を検出する圧電センサで構成され、超音波センサ素子20の測定動作中において、上記2つの電極16,18間に所定のバイアス電圧を印加することにより超音波センサ素子20の共振周波数を変化させることを特徴としている。また、複数の超音波センサ素子20を並置してなる超音波アレイセンサ装置30において、複数の超音波センサ素子20の測定動作中において、各超音波センサ素子20の2つの電極間16,18にそれぞれ所定のバイアス電圧を印加することにより、各超音波センサ素子20の共振周波数が互いに実質的に一致するように変化させる。

請求項（抜粋）：

強誘電体を2つの電極で挟設してなり、所定の共振周波数を有して超音波を検出する圧電センサにてなる超音波センサ素子の共振周波数の調整方法であって、上記超音波センサ素子の動作中において、上記2つの電極間に所定のバイアス電圧を印加することにより上記超音波センサ素子の共振周波数を変化させるステップを含むことを特徴とする超音波センサ素子の共振周波数の調整方法。

IPC (7件)：

H04R 3/00 330 ,  G01S 7/52 ,  G01S 7/521 ,  G01V 1/00 ,  H01L 41/08 ,  H04R 1/22 330 ,  H04R 17/00 332

FI (7件)：

H04R 3/00 330 ,  G01V 1/00 A ,  H04R 1/22 330 ,  H04R 17/00 332 Z ,  G01S 7/52 Z ,  G01S 7/52 A ,  H01L 41/08 Z

Fターム (12件)：

2G005AA04 ,  5D019AA08 ,  5J083AA02 ,  5J083AB15 ,  5J083AC29 ,  5J083AD04 ,  5J083AD15 ,  5J083BA01 ,  5J083BC13 ,  5J083BE57 ,  5J083CA02 ,  5J083CA12