研究者
J-GLOBAL ID:200901095149645160
更新日: 2024年10月14日
山下 馨
ヤマシタ カオル | Yamashita Kaoru
所属機関・部署:
職名:
教授
研究キーワード (17件):
触覚センシング
, 三次元計測
, 超音波計測
, アクチュエータ
, センサ
, マイクロマシニング
, 薄膜
, 強誘電体
, 圧電体
, three-dimensional measurement
, ultrasonic measurement
, actuator
, sensor
, micromachining
, thin films
, ferroelectrics
, piezoelectrics
競争的資金等の研究課題 (19件):
- 2022 - 2025 座屈制御歪み構造体上での圧電MEMSデバイスの変換効率飛躍的向上メカニズムの解明
- 2018 - 2023 圧電MEMSエネルギ変換デバイス高性能化のための強誘電体不揮発応力メカニズム制御
- 2015 - 2019 MEMS構造体の高Q値共振と広帯域化を両立する高効率環境振動発電デバイス
- 2016 - 2017 Aβオリゴマー化動態検出センサの構築
- 2013 - 2017 リポソームバイオ集積センサの診断チップ化基礎技術の構築
- 2014 - 2016 Aβ異常化疾患簡易診断のための標識フリー集積チップ指向リポソーム物理センサ
- 2011 - 2014 強誘電体を用いた不揮発的共振制御と振動型MEMSデバイス高機能化への応用
- 2011 - 2012 周波数遷移を利用したMEMS単一素子でのベクトル触覚センシング
- 2010 - 2012 シリコン集積センサ構造リポソームインタクト固定化バイオセンサ技術の安定化・高度化
- 2008 - 2010 強誘電体のメモリ保持特性を利用した振動型MEMS構造体の不揮発的共振制御
- 2004 - 2006 シリコンマイクロ構造体上圧電型センサアレイの共振周波数チューニング
- 2002 - 2003 視覚障害者用白杖のための三次元計測用超音波センサ
- 2002 - 2003 生体・環境モニタリングのための微分分光画像化システム
- 2000 - 2003 強誘電体薄膜の物性制御と次世代メモリデバイスへの応用
- 1999 - 1999 マイクロアクチュエータの遠隔駆動のための光・運動変換機構
- 1998 - 1999 微小磁気振動センサと超音波診断装置を用いた動脈硬化非線形評価システムの研究
- 1996 - 1996 圧電性半導体の光・運動変換を用いたマイクロマシンの遠隔駆動機構
- 機能性薄膜を用いたマイクロメカニカルデバイスとその応用システムに関する研究
- Study on Micro Mechanical Device Using FunctionalThin Films
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論文 (123件):
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Kaoru Yamashita, Junpei Yamamoto, Zhengian Yi. Vibration Mode and Resonance Frequency Control for High-Resolution Ultrasonic Measurement Using Piezoelectric MEMS Sensors on Buckled Diaphragm Structures for High Sensitivity. Proceedings of the 11th Asia-Pacific Conference of Transducers and MIcro-Nano Technology. 2024
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Kaoru Yamashita, Junpei Yamamoto, Zhengxin Yi. Resonance Frequency and Vibration Mode Modification of Piezoelectric MEMS Ultrasonic Sensors on Buckled Diaphragm Structures for High Sensitivity and High Resolution Measurement. 2023 IEEE SENSORS. 2023
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Kaoru Yamashita, Kentaro Yamamoto, Ryoma Endo, Takuma Yoshida. Structural Strain of Piezoelectric Films on MEMS Diaphragm Structures and Its Suppression through Fabrication Process for High Conversion Efficiency. 2023 IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics (ISAF). 2023
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Kaoru Yamashita, Shota Fujii. Pulse Induced Vibration Modes on Piezoelectric MEMS Buckled Diaphragms for Ultrasonic Sensors. 2022 Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technology (APCOT). 2022
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Kaoru Yamashita, Tomoya Suetaka, Riho Kondo. Piezoelectric Retention and Sensitivity of Ultrasonic Sensors on Buckled MEMS Diaphragm Structures. 2022 IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics, Piezoresponse Force Microscopy and European Conference on Applications of Polar Dielectrics, ISAF-PFM-ECAPD 2022. 2022
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MISC (170件):
特許 (23件):
講演・口頭発表等 (221件):
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圧電MEMSセンサにおける座屈ダイアフラム上圧電薄膜の構造的引張負荷歪みとその低減プロセスの検討
(センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム 2023)
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共振周波数可変圧電センサを用いた高分解能・低ゴースト超音波計測法の評価
(電子情報通信学会 第27回学生会研究発表講演会 2023)
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高感度化座屈ダイアフラム上MEMSセンサの圧電層負荷抑制プロセス評価
(電子情報通信学会 第27回学生会研究発表講演会 2023)
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MEMSダイアフラム型超音波センサの座屈撓みと圧電分極保持特性
(第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 2022)
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高感度化座屈撓みダイアフラム上圧電MEMS超音波センサの座屈撓み量と強誘電的保持特性
(令和4年電気学会全国大会 2022)
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Works (6件):
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ナノ薄膜技術を応用したロボットのための集積多軸触覚センサの開発
2006 -
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ナノ薄膜技術を応用したロボットのための集積多軸触覚センサの開発
2005 -
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マイクロ超音波アレイセンサを用いた三次元計測
2005 -
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自律移動ロボットのリアルタイム3次元計測用超音波マイクロアレイセンサに関する研究開発
2004 -
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三次元計測用マイクロ超音波アレイセンサとその空間認識システムへの応用
2004 -
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学歴 (6件):
- - 1994 大阪大学 基礎工学研究科 物理系専攻
- - 1994 大阪大学
- - 1992 大阪大学 基礎工学研究科 物理系専攻
- - 1992 大阪大学
- - 1990 大阪大学 基礎工学部 制御工学科
- - 1990 大阪大学
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学位 (3件):
- 工学士 (大阪大学)
- 修士(工学) (大阪大学)
- 博士(工学) (大阪大学)
所属学会 (3件):
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