機能デバイスとその製造方法、垂直磁気記録媒体、磁気記録再生装置及び情報処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺徳廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-068509
公開番号（公開出願番号）：特開2004-237429
出願日： 2003年03月13日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：

【課題】孔を有する構造体(多孔質体)に機能性材料を充填して形成される機能デバイスの製造方法を提供する。【解決手段】柱状の部材と該柱状の部材を取り囲む領域を含む構造体を用意する工程、該構造体から該柱状の部材を除去して多孔質体を形成する工程、及び該多孔質体に機能性材料を充填する工程を有する機能デバイスの製造方法。前記構造体は、第1の材料を含み構成される前記柱状の部材が、第2の材料を含み構成される前記領域に取り囲まれており、且つ該構造体には該第2の材料が、該第1の材料と第2の材料の全量に対して20atomic%以上70atomic%以下の割合で含まれている。前記第1の材料がアルミニウムであり、前記第2の材料がシリコンあるいはシリコンとゲルマニウムの混合物である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

柱状の部材と該柱状の部材を取り囲む領域を含む構造体を用意する工程、該構造体から該柱状の部材を除去して多孔質体を形成する工程、及び該多孔質体に機能性材料を充填する工程を有することを特徴とする機能デバイスの製造方法。

IPC (12件)：

B82B1/00 , C22C5/04 , C22C19/00 , C22C28/00 , C22C38/00 , G11B5/65 , G11B5/667 , G11B5/738 , G11B5/84 , H01F10/16 , H01L27/10 , H01L29/06

FI (12件)：

B82B1/00 , C22C5/04 , C22C19/00 H , C22C28/00 B , C22C38/00 303A , G11B5/65 , G11B5/667 , G11B5/738 , G11B5/84 Z , H01F10/16 , H01L27/10 451 , H01L29/06 601D

Fターム (28件)：

5D006BB01 , 5D006BB07 , 5D006BB09 , 5D006CA01 , 5D006CA03 , 5D006CA05 , 5D006DA03 , 5D006DA08 , 5D006EA02 , 5D006EA03 , 5D112AA03 , 5D112AA04 , 5D112AA05 , 5D112AA18 , 5D112AA24 , 5D112BB01 , 5D112BD03 , 5D112BD05 , 5D112EE02 , 5D112FA04 , 5D112GA05 , 5E049AA01 , 5E049AA04 , 5E049BA08 , 5F083FZ01 , 5F083JA36 , 5F083JA37 , 5F083JA38

引用特許：

審査官引用 (7件)

多孔質セラミックス膜とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-336036 出願人：工業技術院長, ファインセラミックス技術研究組合
特開平2-139714
無機化合物薄膜、磁気記録媒体および磁気記録装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-129758 出願人：日立マクセル株式会社

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引用文献：

審査官引用 (3件)

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